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基于图像预处理的光学元件表面粗糙度测量系统
被引量:
1
1
作者
沈红伟
付苗苗
《激光杂志》
CAS
北大核心
2024年第5期252-256,共5页
在测量光学元件表面粗糙度时,测量结果往往比较片面,为此设计基于图像预处理技术的光学元件表面粗糙度测量系统。获取原始元件表面粗糙度干涉图像,通过对表面形貌图像实施图像去噪处理与倾斜校正处理获取滤波结果,通过自适应中值滤波算...
在测量光学元件表面粗糙度时,测量结果往往比较片面,为此设计基于图像预处理技术的光学元件表面粗糙度测量系统。获取原始元件表面粗糙度干涉图像,通过对表面形貌图像实施图像去噪处理与倾斜校正处理获取滤波结果,通过自适应中值滤波算法实施图像的去噪处理。在粗糙度参数评定模块中,根据取样长度对评定长度下定义,实施光学元件表面粗糙度的全面评定。利用设计系统测量三种光学元件的表面粗糙度。实验结果表明:通过设计系统能够获取高成像质量的表面粗糙度干涉图像,实现多种元件表面粗糙度的全面测量,具有一定应用价值。
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关键词
图像预见处理技术
压电
陶瓷
晶体
半导体激光器
光学元件
表面粗糙度测量
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职称材料
兆声清洗技术分析及应用
被引量:
5
2
作者
李仁
《电子工业专用设备》
2004年第1期63-66,共4页
主要论述兆声清洗技术原理及其在微电子清洗工艺过程中的应用。采用兆声清洗法可以减少化学品和高纯水的用量,在不破坏晶圆表面特征的前提下,提高对亚微细颗粒及各种污染物的去除能力及生产效率。
关键词
RCA清洗法、高纯水
范德瓦尔斯引力
气穴效应
兆声清洗
压电
陶瓷
晶体
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职称材料
扇区水泥胶结测井仪发射电路的设计
3
作者
邵芳
郭庆峰
+2 位作者
李亮
侯春会
杨宵
《石油仪器》
2010年第4期17-18,99,共2页
设计一种扇区水泥胶结仪器发射电路,文章介绍了扇区水泥胶结仪器的原理,发射电路的设计思路,工作原理。该电路通过优化设计,减少了元器件,节约了空间。
关键词
扇区水泥胶结
压电
陶瓷
晶体
发射电路
分时发射
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职称材料
我国自主研制出高精度激光倾斜仪
4
《电子元器件应用》
2003年第8期62-62,共1页
关键词
中国
激光倾斜仪
陶瓷压电晶体
高精密测量仪器
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职称材料
中国地质大学(武汉)高精度激光倾斜仪问世
5
《高科技与产业化》
2003年第07M期8-8,共1页
关键词
高精度激光倾斜仪
伺服控制系统
陶瓷压电晶体
隔振系统
中国地质大学
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职称材料
相位偏移干涉法对频域光学层析成像的图像处理(英文)
被引量:
1
6
作者
龚强
王瑞康
+2 位作者
马振鹤
张帆
姚建铨
《纳米技术与精密工程》
EI
CAS
CSCD
2009年第2期168-172,共5页
为了减少频域光学层析成像(spectral domain optical coherence tomography,SDOCT)中的噪声干扰,应用相位偏移干涉技术消除SDOCT系统中的自相关噪声与虚像.分析了主要影响因素位移标定误差对噪声消除的影响.通过载玻片实验指出五相位偏...
为了减少频域光学层析成像(spectral domain optical coherence tomography,SDOCT)中的噪声干扰,应用相位偏移干涉技术消除SDOCT系统中的自相关噪声与虚像.分析了主要影响因素位移标定误差对噪声消除的影响.通过载玻片实验指出五相位偏移法对压电陶瓷晶体(PZT)相位偏移位移标定误差最不敏感.在10%的移相误差下,五相位偏移法使载玻片成像图中自相关项的强度仍然接近于0并使虚像信号的强度在0.25以内.离体兔眼角膜实验结果验证了三相位以上(含三相位)的相位偏移方法能够同时消除虚像及自相关噪声,且在实验过程中避免了实虚像重叠及等光程点的设置.
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关键词
光学层析成像
相位偏移干涉法
频域
压电
陶瓷
晶体
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职称材料
中国地质大学(武汉)高精度激光倾斜仪问世
7
《中国高校科技与产业化》
2003年第7期8-8,共1页
日前,中国地质大学(武汉)程永进教授研制出一种新型高精度激光倾斜仪。该倾斜仪及其伺服控制系统可以对大地的倾斜情况进行实时监测;同时利用陶瓷压电晶体作为驱动器进行伺服控制,抑制或消除大地倾斜噪声对大型精密测量仪器的影响。...
日前,中国地质大学(武汉)程永进教授研制出一种新型高精度激光倾斜仪。该倾斜仪及其伺服控制系统可以对大地的倾斜情况进行实时监测;同时利用陶瓷压电晶体作为驱动器进行伺服控制,抑制或消除大地倾斜噪声对大型精密测量仪器的影响。具体原理是,由倾斜仪获得的地面倾斜的数字信号经数据处理和数模转换,作为控制信号反馈到若干个压电晶体驱动器中,
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关键词
高精度激光倾斜仪
陶瓷压电晶体
中国地质大学
精密测量
伺服控制系统
大型
噪声
地倾斜
控制信号
数据处理
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职称材料
中国地质大学研制出高精度激光倾斜仪
8
《电子质量》
2003年第7期41-41,共1页
关键词
中国地质大学
高精度激光倾斜仪
伺服控制系统
陶瓷压电晶体
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职称材料
题名
基于图像预处理的光学元件表面粗糙度测量系统
被引量:
1
1
作者
沈红伟
付苗苗
机构
沧州师范学院
出处
《激光杂志》
CAS
北大核心
2024年第5期252-256,共5页
基金
河北省“三三三人才工程”资助项目(No.A202001101)。
文摘
在测量光学元件表面粗糙度时,测量结果往往比较片面,为此设计基于图像预处理技术的光学元件表面粗糙度测量系统。获取原始元件表面粗糙度干涉图像,通过对表面形貌图像实施图像去噪处理与倾斜校正处理获取滤波结果,通过自适应中值滤波算法实施图像的去噪处理。在粗糙度参数评定模块中,根据取样长度对评定长度下定义,实施光学元件表面粗糙度的全面评定。利用设计系统测量三种光学元件的表面粗糙度。实验结果表明:通过设计系统能够获取高成像质量的表面粗糙度干涉图像,实现多种元件表面粗糙度的全面测量,具有一定应用价值。
关键词
图像预见处理技术
压电
陶瓷
晶体
半导体激光器
光学元件
表面粗糙度测量
Keywords
image preview processing technology
piezoelectric ceramic crystals
semiconductor laser
optical components
surface roughness measurement
分类号
TN84 [电子电信—信息与通信工程]
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职称材料
题名
兆声清洗技术分析及应用
被引量:
5
2
作者
李仁
机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
出处
《电子工业专用设备》
2004年第1期63-66,共4页
文摘
主要论述兆声清洗技术原理及其在微电子清洗工艺过程中的应用。采用兆声清洗法可以减少化学品和高纯水的用量,在不破坏晶圆表面特征的前提下,提高对亚微细颗粒及各种污染物的去除能力及生产效率。
关键词
RCA清洗法、高纯水
范德瓦尔斯引力
气穴效应
兆声清洗
压电
陶瓷
晶体
Keywords
RCA cleaning, Ultra-purity water, Van der waals force, Acoustic Cavitations, mega-sonic cleaning, Ceramic piezoelectric crystal
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
扇区水泥胶结测井仪发射电路的设计
3
作者
邵芳
郭庆峰
李亮
侯春会
杨宵
机构
大庆钻探工程公司测井一公司地球物理研究所
出处
《石油仪器》
2010年第4期17-18,99,共2页
文摘
设计一种扇区水泥胶结仪器发射电路,文章介绍了扇区水泥胶结仪器的原理,发射电路的设计思路,工作原理。该电路通过优化设计,减少了元器件,节约了空间。
关键词
扇区水泥胶结
压电
陶瓷
晶体
发射电路
分时发射
Keywords
sector cement bond
piezoelectric crystal
transmitted circuit
time-sharing transmitting
分类号
P631.83 [天文地球—地质矿产勘探]
下载PDF
职称材料
题名
我国自主研制出高精度激光倾斜仪
4
出处
《电子元器件应用》
2003年第8期62-62,共1页
关键词
中国
激光倾斜仪
陶瓷压电晶体
高精密测量仪器
分类号
TH816.3 [机械工程—精密仪器及机械]
下载PDF
职称材料
题名
中国地质大学(武汉)高精度激光倾斜仪问世
5
出处
《高科技与产业化》
2003年第07M期8-8,共1页
关键词
高精度激光倾斜仪
伺服控制系统
陶瓷压电晶体
隔振系统
中国地质大学
分类号
TH761 [机械工程—精密仪器及机械]
下载PDF
职称材料
题名
相位偏移干涉法对频域光学层析成像的图像处理(英文)
被引量:
1
6
作者
龚强
王瑞康
马振鹤
张帆
姚建铨
机构
天津大学精密仪器与光电子工程学院
出处
《纳米技术与精密工程》
EI
CAS
CSCD
2009年第2期168-172,共5页
文摘
为了减少频域光学层析成像(spectral domain optical coherence tomography,SDOCT)中的噪声干扰,应用相位偏移干涉技术消除SDOCT系统中的自相关噪声与虚像.分析了主要影响因素位移标定误差对噪声消除的影响.通过载玻片实验指出五相位偏移法对压电陶瓷晶体(PZT)相位偏移位移标定误差最不敏感.在10%的移相误差下,五相位偏移法使载玻片成像图中自相关项的强度仍然接近于0并使虚像信号的强度在0.25以内.离体兔眼角膜实验结果验证了三相位以上(含三相位)的相位偏移方法能够同时消除虚像及自相关噪声,且在实验过程中避免了实虚像重叠及等光程点的设置.
关键词
光学层析成像
相位偏移干涉法
频域
压电
陶瓷
晶体
Keywords
optical coherence tomography (OCT)
phase shifting interferometry
spectral domain
PZT
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
中国地质大学(武汉)高精度激光倾斜仪问世
7
出处
《中国高校科技与产业化》
2003年第7期8-8,共1页
文摘
日前,中国地质大学(武汉)程永进教授研制出一种新型高精度激光倾斜仪。该倾斜仪及其伺服控制系统可以对大地的倾斜情况进行实时监测;同时利用陶瓷压电晶体作为驱动器进行伺服控制,抑制或消除大地倾斜噪声对大型精密测量仪器的影响。具体原理是,由倾斜仪获得的地面倾斜的数字信号经数据处理和数模转换,作为控制信号反馈到若干个压电晶体驱动器中,
关键词
高精度激光倾斜仪
陶瓷压电晶体
中国地质大学
精密测量
伺服控制系统
大型
噪声
地倾斜
控制信号
数据处理
分类号
P315 [天文地球—地震学]
TH761 [机械工程—精密仪器及机械]
下载PDF
职称材料
题名
中国地质大学研制出高精度激光倾斜仪
8
出处
《电子质量》
2003年第7期41-41,共1页
关键词
中国地质大学
高精度激光倾斜仪
伺服控制系统
陶瓷压电晶体
分类号
TH744.5 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于图像预处理的光学元件表面粗糙度测量系统
沈红伟
付苗苗
《激光杂志》
CAS
北大核心
2024
1
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职称材料
2
兆声清洗技术分析及应用
李仁
《电子工业专用设备》
2004
5
下载PDF
职称材料
3
扇区水泥胶结测井仪发射电路的设计
邵芳
郭庆峰
李亮
侯春会
杨宵
《石油仪器》
2010
0
下载PDF
职称材料
4
我国自主研制出高精度激光倾斜仪
《电子元器件应用》
2003
0
下载PDF
职称材料
5
中国地质大学(武汉)高精度激光倾斜仪问世
《高科技与产业化》
2003
0
下载PDF
职称材料
6
相位偏移干涉法对频域光学层析成像的图像处理(英文)
龚强
王瑞康
马振鹤
张帆
姚建铨
《纳米技术与精密工程》
EI
CAS
CSCD
2009
1
下载PDF
职称材料
7
中国地质大学(武汉)高精度激光倾斜仪问世
《中国高校科技与产业化》
2003
0
下载PDF
职称材料
8
中国地质大学研制出高精度激光倾斜仪
《电子质量》
2003
0
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职称材料
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