陶瓷膜制备新工艺─ASSP法的基本原理和特点

以常用无机盐为前驱体，通过化学合成固相粒子排布（ASSP—arrangementofsynthesizedsolidPartical）途径，可以方便地制备绝大多数氧化物陶瓷薄膜。本文介绍了这种制膜方法的基本原理和工艺特点，对薄膜制备过程中的普遍规律进行了简要的分析。