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新型光湿敏元件及应用
1
作者
郭志友
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第6期20-21,共2页
介绍了利用硅作衬底的陶瓷钛酸镧锶 (SrLaTiO3)材料的半导体元件 ,独特的MIS结构元件 ,既具有光的特性 ,又可以测量湿度信号。利用光、湿敏特性元件设计成光。
关键词
光湿敏元件
MIS结构
传感器
相对湿度
陶瓷钛酸镧锶材料
传感器
下载PDF
职称材料
题名
新型光湿敏元件及应用
1
作者
郭志友
机构
华南师范大学信息光电子科技学院
出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第6期20-21,共2页
文摘
介绍了利用硅作衬底的陶瓷钛酸镧锶 (SrLaTiO3)材料的半导体元件 ,独特的MIS结构元件 ,既具有光的特性 ,又可以测量湿度信号。利用光、湿敏特性元件设计成光。
关键词
光湿敏元件
MIS结构
传感器
相对湿度
陶瓷钛酸镧锶材料
传感器
Keywords
MIS structure,luminosity-humidity components,sensor,relative humidity
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
新型光湿敏元件及应用
郭志友
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2002
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