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新型光湿敏元件及应用
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作者 郭志友 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2002年第6期20-21,共2页
介绍了利用硅作衬底的陶瓷钛酸镧锶 (SrLaTiO3)材料的半导体元件 ,独特的MIS结构元件 ,既具有光的特性 ,又可以测量湿度信号。利用光、湿敏特性元件设计成光。
关键词 光湿敏元件 MIS结构 传感器 相对湿度 陶瓷钛酸镧锶材料 传感器
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