陶瓷静电卡盘叠片机的设计与实现

陶瓷静电卡盘是半导体以及光学设备中的关键器件之一,主要起到固定衬底快速加热的作用,其性能与稳定性直接影响芯片制造的质量和效率。叠片工艺是实现陶瓷静电卡盘吸附和保证温度均匀性的关键工艺。多层陶瓷基板叠片机作为一种先进的精密加工设备,以其高精度、高效率的特点,在HTCC和LTCC等行业内应用广泛,但国内尚未有适用于陶瓷静电卡盘研发的叠片机。旨在通过分析陶瓷静电卡盘陶瓷基板的特点,开展大尺寸生瓷片叠片设备的研究,探索叠片机在陶瓷静电卡盘制造中的应用。