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基片上二元组份薄膜的定量分析的Monte Carlo模拟计算方法
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作者 潘荫荣 胡幼华 朱惠彪 《应用概率统计》 CSCD 北大核心 2001年第2期180-184,共5页
本文用Ｍｏｎｔｅ　Ｃａｒｌｏ方法对入射电子在薄膜中的散射和特征Ｘ射线的发射进行数学模拟，提出了基片上 二元组份薄膜成份的模拟计算方法．用这一方法模拟计算了若干个二元组份薄膜的成份，得到了与实验测定值相一致的模拟计算结果．
关键词 MONTE CARLO方法 迭代算法 特征X射线强度 二元组份薄膜 随机过程定量分析 模拟计算 薄膜成份
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