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双牺牲层微测辐射热计最新研究进展 被引量:3
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作者 彭自求 王军 +1 位作者 袁凯 蒋亚东 《电子器件》 CAS 2010年第3期303-307,共5页
通过改善结构,来研制更小尺寸、更高分辨率的器件,成为微测辐射热计研制的新趋势,而其中最普遍的做法就是使用双牺牲层。本文介绍了双牺牲层微测辐射热计研究的最新成果,即以Raytheon和DRS等为代表的两种做法,并从器件结构和工艺上比较... 通过改善结构,来研制更小尺寸、更高分辨率的器件,成为微测辐射热计研制的新趋势,而其中最普遍的做法就是使用双牺牲层。本文介绍了双牺牲层微测辐射热计研究的最新成果,即以Raytheon和DRS等为代表的两种做法,并从器件结构和工艺上比较了两种思路的优劣。 展开更多
关键词 微测辐射热计 双牺牲层 屋檐结构 伞状结构 隐藏桥腿结构
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