基于双层薄膜热电偶的热障涂层隔温温度精确测量

为了解决热障涂层隔温温度测量方法缺乏规范性及精确测量体系欠缺的问题,提出在热障涂层上、下两侧制作薄膜型热电偶测量热障涂层隔温温度的试验方案,利用MEMS工艺在热障涂层两侧实现Pt/PtRh薄膜型(<1 um厚)热电偶微制造工艺,进行热障涂层在高温热流动态环境下的隔温效果初步测定试验,并提出1种热障涂层隔温效果的标准化测量体系与测量规范。结果表明:该Pt/PtRh薄膜型传感器可以测量1200℃左右的高温。