多晶硅铸锭炉隔热笼的优化及热-结构耦合分析

为了降低铸锭炉内隔热笼的热变形,对隔热笼结构进行优化,并利用有限元ANSYS Workbench软件对优化前后隔热笼模型进行热-结构耦合计算。结果表明,通过结构优化可以减小隔热笼的热变形,提高隔热笼的使用寿命,给实际生产提供理论指导。

隔热笼提升速度对高效多晶硅定向凝固的影响

在多晶硅锭生长过程中,通过控制铸锭炉内隔热笼提升速度,可以获得杂质较少、少子寿命较长的高效多晶硅锭。试验将隔热笼提升速度分别设置为:1、5和12 mm/h。采用数值分析软件计算了硅锭内部的温度分布,并理论分析了产生该现象的原因。结果表明:隔热笼提升速度设置为5 mm/h时,硅锭整体缺陷相对较少、绝大部分杂质富集在硅锭周围且少子寿命较长区域所占比例较大。

隔热笼开度对高效多晶硅定向凝固的影响

采用高效多晶半熔工艺,实验对比了隔热笼开度为2 cm和8 cm两种工艺下的籽晶界面保留及硅锭内部硬质点和少子寿命的分布。结果表明,采用隔热笼开度为8 cm工艺,避免了硅料熔化过程中坩埚底部籽晶熔化而导致引晶效果不佳的问题,保证了硅锭较高的效率。