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改进型潘宁离子源获得难溶金属离子的研究 被引量:1
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作者 徐嘉东 商作起 +2 位作者 李建明 杨占坤 王培大 《微细加工技术》 1991年第3期1-4,共4页
本文描述了改进型潘宁离子源在活性化学反应机理作用基础上获得难熔金属离子。研究了源结构和引束上活性气体的影响,并获得有关结果。
关键词 离子注入 潘宁离子 难容金属离子
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