期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
改进型潘宁离子源获得难溶金属离子的研究
被引量:
1
1
作者
徐嘉东
商作起
+2 位作者
李建明
杨占坤
王培大
《微细加工技术》
1991年第3期1-4,共4页
本文描述了改进型潘宁离子源在活性化学反应机理作用基础上获得难熔金属离子。研究了源结构和引束上活性气体的影响,并获得有关结果。
关键词
离子
注入
潘宁
离子
源
难容金属离子
下载PDF
职称材料
题名
改进型潘宁离子源获得难溶金属离子的研究
被引量:
1
1
作者
徐嘉东
商作起
李建明
杨占坤
王培大
机构
中国科学院半导体研究所
出处
《微细加工技术》
1991年第3期1-4,共4页
文摘
本文描述了改进型潘宁离子源在活性化学反应机理作用基础上获得难熔金属离子。研究了源结构和引束上活性气体的影响,并获得有关结果。
关键词
离子
注入
潘宁
离子
源
难容金属离子
Keywords
Penning ion source
Delivered beam material
Plasma
分类号
TN305.3 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
改进型潘宁离子源获得难溶金属离子的研究
徐嘉东
商作起
李建明
杨占坤
王培大
《微细加工技术》
1991
1
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部