难检测样品的能谱分析技术研究

X射线能谱仪(EDS)作为扫描电镜的重要附件,能够便捷、快速地分析样品微区的元素信息。然而,部分难分析样品在采用常规的EDS测试技术时会出现较大的分析误差或错误。本文利用装配布鲁克QUANTAX XFlash 6|30能谱探测器的Zeiss sigma 500型场发射扫描电镜,针对轻重元素兼具样品、粗糙不平整样品、谱峰相近元素样品以及纳米填充颗粒四种较难检测样品的能谱分析,分别给出了相应的解决技术并剖析了典型的应用案例,相比较常规技术,其能谱分析的准确性获得了很大的提高,这些解决问题的思路和方法可作为今后分析类似样品的一种参考。