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新型集成压力传感器的研究 被引量:3
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作者 张维新 毛赣如 +2 位作者 曲宏伟 姚素英 李建文 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第6期435-439,共5页
本文介绍一种新型集成压力传感器.它是利用集成电路技术和微机械加工技术相结合,将半导体力敏电阻和双稳态触发器电路结合在一起,制作触发器型集成压力传感器.文章对该类传感器的工作原理,电路结构进行了理论分析,并对实验结果进... 本文介绍一种新型集成压力传感器.它是利用集成电路技术和微机械加工技术相结合,将半导体力敏电阻和双稳态触发器电路结合在一起,制作触发器型集成压力传感器.文章对该类传感器的工作原理,电路结构进行了理论分析,并对实验结果进行了讨论.重点分析了噪声对传感器特性的影响,在测试电路中加入调控三角波电压,可以改善传感器的特性. 展开更多
关键词 集成压力传感器 传感器 集成电路 压力传感器
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一种单片集成压力传感器信号调理电路的设计 被引量:3
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作者 李思颖 张正元 +2 位作者 汤洁 丁大胜 张皓博 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2014年第1期78-80,100,共4页
针对单片集成压力传感器输出幅度较小、温度漂移会引起压力精度变化等难题,提出了一种新型的信号调理电路。该电路通过两个差分放大电路和四个D/A转换器来解决单片集成压力传感器的小输出和温度漂移问题。仿真结果表明,在5V电源电压... 针对单片集成压力传感器输出幅度较小、温度漂移会引起压力精度变化等难题,提出了一种新型的信号调理电路。该电路通过两个差分放大电路和四个D/A转换器来解决单片集成压力传感器的小输出和温度漂移问题。仿真结果表明,在5V电源电压下,在0℃~85℃温度范围内,信号调理电路的最大误差可以减少到满量程输出的1.8%。 展开更多
关键词 单片集成压力传感器 温度补偿 信号调理电路
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厚膜集成压力传感器的研制 被引量:2
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作者 马以武 刘高升 +3 位作者 常慧敏 黄英 斯培新 王宁 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1997年第4期20-22,共3页
通过厚膜力敏工艺技术和厚膜混合集成技术的结合,研制成功厚膜集成压力传感器,能直接和显示仪表连接。为传感器的集成化作了有益的尝试,具有广阔的研究开发前景。
关键词 集成压力传感器 厚膜 传感器
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硅集成压力传感器设计
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作者 贺水燕 彭万里 《湘潭师范学院学报(自然科学版)》 2002年第3期64-66,共3页
主要对硅集成传感器的理论设计进行了分析和探讨。
关键词 集成压力传感器 设计 硅膜片 挠度 灵敏度 微加工 电容传感元件 硅压阻式模型
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YZ-1型硅压阻型集成压力传感器
5
《传感器世界》 2005年第12期46-46,共1页
YZ-1型硅压阻型集成压力传感器可用于近程或远程流体压力的测定、显示,进而达到自控的目的.该产品的测压量程为0~1MPa.适用温度范围为.10~50℃或-20~40℃,以(100)硅片为基础村料.背面经各向异性腐蚀后产生方形杯,杯底构成... YZ-1型硅压阻型集成压力传感器可用于近程或远程流体压力的测定、显示,进而达到自控的目的.该产品的测压量程为0~1MPa.适用温度范围为.10~50℃或-20~40℃,以(100)硅片为基础村料.背面经各向异性腐蚀后产生方形杯,杯底构成弹性膜。YZ-1型硅压阻型集成压力传感器采用方形膜及有限力学优化设计.力敏电阻布置合理.充分利用应力效应, 展开更多
关键词 集成压力传感器 压阻型 硅片 1型 各向异性腐蚀 流体压力 温度范围 应力效应 力敏电阻 优化设计
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集成MOS力敏运放压力传感器
6
作者 岳瑞峰 刘理天 李志坚 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期500-502,共3页
设计并制作出一种新型集成压力传感器——集成 MOS力敏运放压力传感器 .它将运算放大器中的一对PMOS差分输入管集中设置在 N型 (10 0 ) Si膜片上的最大应力区 ,并使它们的沟道方向相互垂直 ,运放中其它元件全部集中设置在厚体硅上的低... 设计并制作出一种新型集成压力传感器——集成 MOS力敏运放压力传感器 .它将运算放大器中的一对PMOS差分输入管集中设置在 N型 (10 0 ) Si膜片上的最大应力区 ,并使它们的沟道方向相互垂直 ,运放中其它元件全部集中设置在厚体硅上的低应力区 .在压力作用下 ,输入级 MOS管沟道中载流子迁移率发生变化 ,运算放大器以其为输入信号而产生力敏输出 .这种压力传感器具有很高的压力响应灵敏度 ,可望在诸多领域有广泛应用 . 展开更多
关键词 集成压力传感器 力敏运算放大器 压阻效应
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飞思卡尔推出面向汽车发动机控制系统和环保汽车应用的Xtrinsic压力传感器
7
《单片机与嵌入式系统应用》 2013年第2期82-82,共1页
飞思卡尔半导体推出三款新的引脚对引脚兼容的压力传感器,替代MPXHZ6000系列,进一步扩展了其面向汽车发动机管理和高能效应用的Xtrinsic压力传感器组合。MPXHZ9000带绝对温度补偿的压阻式压力传感器提供与飞思卡尔其他集成压力传感器... 飞思卡尔半导体推出三款新的引脚对引脚兼容的压力传感器,替代MPXHZ6000系列,进一步扩展了其面向汽车发动机管理和高能效应用的Xtrinsic压力传感器组合。MPXHZ9000带绝对温度补偿的压阻式压力传感器提供与飞思卡尔其他集成压力传感器相同的可信功能,同时增加了削波功能,且能够针对多个最终用户应用进行定制。 展开更多
关键词 集成压力传感器 汽车应用 飞思卡尔 发动机控制系统 压阻式压力传感器 环保 引脚兼容 汽车发动机
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博格华纳第1000万台压力传感预热塞下线
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《汽车制造业》 2017年第6期8-8,共1页
博格华纳的第1000万台用于柴油发动机的压力传感预热塞(PSG)日前下线。这一智能冷起动解决方案将高效电热塞与集成压力传感器整合于一体.帮助汽车制造商增强发动机效率和性能.同时满足当前和未来排放法规的要求。博格华纳的PSG在同... 博格华纳的第1000万台用于柴油发动机的压力传感预热塞(PSG)日前下线。这一智能冷起动解决方案将高效电热塞与集成压力传感器整合于一体.帮助汽车制造商增强发动机效率和性能.同时满足当前和未来排放法规的要求。博格华纳的PSG在同类产品中率先实现了批量生产.并赢得了多项大奖。 展开更多
关键词 集成压力传感器 预热塞 下线 柴油发动机 发动机效率 汽车制造商 排放法规 批量生产
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MOS力敏运算放大器
9
作者 岳瑞峰 刘理天 李志坚 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第8期1032-1034,共3页
利用MOSFET的压阻效应 ,本文提出了力敏运算放大器的概念、基本原理和设计思想 .作为其应用之一 ,研制出一种新型集成压力传感器———集成MOS力敏运放压力传感器 .这种压力传感器具有很高的压力响应灵敏度 。
关键词 力敏运算放大器 集成压力传感器 MOS
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