基于MEMS技术的集成温湿传感器研制

基于MEMS技术设计的集成温湿度传感器具有重量轻、体积小、成本低、易集成等特点,并可大大提高器件的一致性,可靠性,易形成批量生产能力。从理论上分析了利用热电原理测量空气相对湿度的可行性、集成温湿传感器的结构,以及具体测量方法。重点介绍了湿度部分的测量,证实所设计的集成传感器有良好性能。

基于MEMS技术的温湿压集成传感器

介绍了一种具有新结构的温湿压集成传感器,分别采用了热敏电阻法测量温度、导热检测法检测湿度、应变电阻法检测压力.这种集成传感器主要是采用硅、氮化硅和铂金为材料制作的.测量温度和湿度的铂金电阻都在悬空氮化硅薄膜上,测量压力的压力敏感膜也是由悬空氮化硅薄膜形成的.这种传感器与一般的集成传感器相比,具有结构简单、工艺简单、精度高的优点.

探空温湿压系统研制

介绍了用于测量大气湿度、温度和气压探空集成传感器系统.利用集成温湿压传感器采集信号,测量采用24位AD精度MCU,借助CC1000将信号调制,MAX2235将信号功率放大无线发送.给出了集成温湿压传感器结构、测量系统的原理、测量系统的硬件框图及关键软件的设计流程.实验结果证明:该系统在满足测量精度的条件下,降低了系统的体积和成本.

基于SHT10与单片机技术的温室监测系统

本设计基于单片机技术,实现温室的温、湿度自动检测与控制。设计中,以单片机89S52作为控制核心,采用数字温湿度集成传感器SHT10进行数据采集转换,以键盘输入方式进行温湿度值设定,用液晶屏实现温湿度数据的实时显示。温度与湿度的调节装置能够保障温湿度参数的变化不超过设定范围,否则报警并自动调节。系统已经在小型温室大棚中试用,完全达到设计要求。与传统的温湿度测量方案相比,本系统测量精度更高,控制更加精确,外围电路更加简洁,而且节约了人力成本。