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集成电路工厂Fab中实验室布局分析
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作者 雍倩文 张东 赵倩 《中国集成电路》 2024年第6期29-33,71,共6页
集成电路工厂实验室已逐渐成为建厂的标准配置,其在集成电路生产厂房(Fab)中的位置选择上需考虑洁净流线、空间需求、微振控制、电磁控制等因素,在工艺布局中需考虑设备之间的联系、设备排水排液与收集、设备电磁防控以及职业卫生等要求... 集成电路工厂实验室已逐渐成为建厂的标准配置,其在集成电路生产厂房(Fab)中的位置选择上需考虑洁净流线、空间需求、微振控制、电磁控制等因素,在工艺布局中需考虑设备之间的联系、设备排水排液与收集、设备电磁防控以及职业卫生等要求,本文针对实验室在Fab中的位置选择和工艺布局,给出了一些建议并有针对性的进行了优缺点对比分析,为集成电路工厂实验室的位置选择与布局设计提供参考。 展开更多
关键词 集成电路工厂实验室 微振控制 电磁控制 位置选择 工艺布局
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某集成电路工厂废水站通风系统设计
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作者 张秋玲 《江西建材》 2024年第4期287-288,293,共3页
文中以某集成电路工厂废水站通风系统设计为例,分析污染物在操作车间的分布情况后,从通风形式选择、风量计算、通风机选型以及气流组织设计等方面论述了该类型建筑通风系统设计,对产生大量污染物且排风条件较不利的污泥脱水机房通风系... 文中以某集成电路工厂废水站通风系统设计为例,分析污染物在操作车间的分布情况后,从通风形式选择、风量计算、通风机选型以及气流组织设计等方面论述了该类型建筑通风系统设计,对产生大量污染物且排风条件较不利的污泥脱水机房通风系统的通风效果进行了模拟论证及评价。结果表明,气流组织合理的情况下,标准要求的换气次数12次/h可使室内空气品质保持良好,风口布置均匀的低污染物浓度区适合设置人员操作区。 展开更多
关键词 集成电路工厂 废水站 通风系统
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集成电路工厂的噪声及控制 被引量:1
3
作者 周向荣 韩科勇 《洁净与空调技术》 2003年第4期53-54,58,共3页
本文分析了集成电路制厂的噪声来源,阐述了噪声控制的重要性及主要噪声的控制措施。
关键词 集成电路工厂 噪声控制 噪声源 减噪设施 噪声污染
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集成电路工厂火灾自动报警及联动控制设计——空气采样探测系统在洁净厂房中的运用 被引量:1
4
作者 戴明礼 《智能建筑》 2003年第5期26-30,共5页
集成电路工厂有民用建筑及一般工业建筑不同的特点,因此其火灾报警及联动控制也有不同之处。文章对其特点部分,特别是洁净厂房内空气采样探测系统的设计进行了论述,省略了与其它火灾报警及联动控制相同的部分。
关键词 集成电路工厂 火灾 自动报警 联动控制 洁净厂房 空气 采样 探测系统
原文传递
火灾报警装置及空气采样探测系统在集成电路工厂洁净厂房中的运用 被引量:1
5
作者 戴明礼 《电气工程应用》 2004年第1期41-45,共5页
集成电路工厂与民用建筑及一般工业建筑相比有不同的特点,因此其火灾报警及联动控制也有不同之处。本文对其特点部分,特别是洁净厂房内空气采样探测系统的设计进行了论述,省略了与其它火灾报警及联动控制相同的部分。
关键词 火灾报警装置 空气采样探测系统 消防联动控制系统 集成电路工厂 洁净厂房
原文传递
超大规模集成电路制造工厂照明设计
6
作者 高小平 顾金卫 《低压电器》 2003年第5期27-28,35,共3页
结合《洁净厂房设计规范》与超大规模集成电路制造工厂的特点 ,阐述了照明电源、照度标准、备用照明、照明灯具的选择及安装等 。
关键词 照明设计 《洁净厂房设计规范》 建筑物 超大规模集成电路制造工厂
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集成电路厂房冷热源节能技术分析比较 被引量:1
7
作者 李青燕 陈耀宗 《工程建设与设计》 2019年第12期51-52,共2页
集成电路厂房是高能耗建筑,需要采取措施减少暖通系统能耗,针对其特殊的负荷特点,需要先对能源消耗量极高的冷热源系统进行优化分析,根据不同地区、不同工厂的不同特点,采取不同的节能措施和运行策略,合理组合热回收冷机和冬季自由冷却... 集成电路厂房是高能耗建筑,需要采取措施减少暖通系统能耗,针对其特殊的负荷特点,需要先对能源消耗量极高的冷热源系统进行优化分析,根据不同地区、不同工厂的不同特点,采取不同的节能措施和运行策略,合理组合热回收冷机和冬季自由冷却的配置,尽可能降低冷热源系统。 展开更多
关键词 热回收 节能 集成电路工厂
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最新发现与创新:我国集成电路核心装备研发取得重大突破
8
《中国高新技术企业》 2006年第5期64-64,共1页
9月28日,国家863计划集成电路制造装备重大专项“100纳米高密度等离子体刻蚀机和大角度离子注入机”,通过科技部与北京市组织的项目验收。业主企业北京北方微电子公司和北京中科信公司与我国最大的集成电路工厂中芯国际公司分别签订... 9月28日,国家863计划集成电路制造装备重大专项“100纳米高密度等离子体刻蚀机和大角度离子注入机”,通过科技部与北京市组织的项目验收。业主企业北京北方微电子公司和北京中科信公司与我国最大的集成电路工厂中芯国际公司分别签订刻蚀机和离子注入机的批量采购合同。这是我国国产主流集成电路核心设备产品第一次实现销售.标志着我国集成电路制造核心装备研发取得重大突破。中共中央政治局委员,北京市委书记刘淇.科技部部长徐冠华.科技部副部长马颂德出席签字仪式。 展开更多
关键词 集成电路工厂 制造装备 研发 高密度等离子体 国家863计划 离子注入机 创新 中芯国际公司
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大型电子洁净工厂消防(电)系统设计简述
9
作者 王强 《今日消防》 2019年第5期38-39,共2页
本文结合液晶面板工厂、集成电路芯片工厂工程实例简述大型电子洁净工厂消防(电)系统(包含:火灾报警及联动控制系统;极早期烟雾探测系统;特气探测报警控制系统、可燃气体泄漏报警系统;防火门监控系统;消防电源监控系统;电气火灾监控系统... 本文结合液晶面板工厂、集成电路芯片工厂工程实例简述大型电子洁净工厂消防(电)系统(包含:火灾报警及联动控制系统;极早期烟雾探测系统;特气探测报警控制系统、可燃气体泄漏报警系统;防火门监控系统;消防电源监控系统;电气火灾监控系统;气体灭火系统;应急兼普通广播系统)设计的基本思路和设计要点,基本方案及工程做法。 展开更多
关键词 液晶面板工厂 集成电路芯片工厂 消防设计 洁净 工程
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大型电子洁净工厂弱电系统设计简述
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作者 王强 《机电信息》 2019年第21期153-154,共2页
结合液晶面板工厂、集成电路芯片工厂工程实例,简述大型电子洁净工厂弱电系统的设计方案及工程做法,包含电话/网络系统和安防系统(门禁、考勤、一卡通系统,闭路电视监控系统,巡更系统,入侵报警系统,周界报警系统,残疾人报警系统等)。
关键词 液晶面板工厂 集成电路芯片工厂 弱电设计 洁净 通信
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含高氟废水处理方法的研究 被引量:3
11
作者 傅伟芳 《中国高新技术企业》 2008年第8期94-94,97,共2页
1前言 随着现代化工业的发展.含氟矿物的开采加工、氟化物的合成、金属冶炼、铝电解、焦碳、玻璃、电镀、化肥、农药、化工,特别是近十多年来。蓬勃发展的电子工业(如彩色显像管、集成电路工厂等)的大量建设投产.含氟废水的排放... 1前言 随着现代化工业的发展.含氟矿物的开采加工、氟化物的合成、金属冶炼、铝电解、焦碳、玻璃、电镀、化肥、农药、化工,特别是近十多年来。蓬勃发展的电子工业(如彩色显像管、集成电路工厂等)的大量建设投产.含氟废水的排放总量每年以成万吨计急剧增加.氟污染越来越严重.其危害越来越受到人们的关注。 展开更多
关键词 废水处理方法 高氟 集成电路工厂 电子工业 彩色显像管 含氟矿物 金属冶炼 排放总量
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Taurus workbenchyong用于IC制造加工工艺的实验研究
12
作者 侯国宪 李惠军 赵国庆 《河北理工学院学报》 2004年第3期53-56,70,共5页
介绍了集成电路虚拟工厂系统TaurusWorkbench。并基于CMOS工艺的特点,在TaurusWorkbench环境下进行了亚微米级n沟器件的核心参数优化实验研究,结果印证了集成电路虚拟工厂技术为工艺优化提供了便捷有效的方法。
关键词 TAURUS workbenehyong IC制造加工工艺 阈值电压 优化 仿真 集成电路虚拟工厂
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台湾杰出企业家——焦佑钧先生
13
《海峡科技与产业》 1995年第3期35-35,共1页
焦佑钧先生毕业于台湾交通大学电信工程系,后赴美国华盛顿大学求学,取得电机硕士学位,又继续攻读企管学科。回台后进入父亲经营的华新丽华公司工作,29岁时正式接任公司董事长职务。 焦佑钧经营华新丽华公司的策略是多元化经营。一般公... 焦佑钧先生毕业于台湾交通大学电信工程系,后赴美国华盛顿大学求学,取得电机硕士学位,又继续攻读企管学科。回台后进入父亲经营的华新丽华公司工作,29岁时正式接任公司董事长职务。 焦佑钧经营华新丽华公司的策略是多元化经营。一般公司多元化的方式是垂直整合上下游的产业,而他却拓展本业以外的科技产业。 1987年他投资集成电路工业,在新竹科学工业园区成立了华邦电子股份有限公司,第二年一座超大型集成电路工厂落成,1992年第二座超大型集成电路工厂也加入营运。 展开更多
关键词 集成电路工厂 企业家 多元化经营 新竹科学工业园区 集成电路工业 科技产业 台湾 股份有限公司 华盛顿大学 公司董事长
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事故消息
14
《化工安全与环境》 2007年第45期15-15,共1页
贵州公路一汽油罐车侧翻,北京一集成电路工厂发生氯气泄漏15名员工中毒,危化品车猛烈燃烧
关键词 消息 事故 集成电路工厂 氯气泄漏 油罐车 危化品
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高科技制造业工艺设备用废气处理装置 被引量:1
15
作者 刘建勋 《洁净与空调技术》 2013年第3期83-91,共9页
主要介绍集成电路、液晶光电和薄膜太阳能等高科技制造行业中,工艺设备尾气除害用的废气处理装置Local Scrubber以及相关产品的分类、功能、原理、处理效率、日常维护、报警处理和相关环保法律法规等。
关键词 集成电路 集成电路制造工厂 洁净厂房 废气处理装置或尾气处理装置 特殊气体 预防性保养 报警
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