集成电路工艺制程虚拟仿真实验设计

高校普遍存在难以建造完整的集成电路工艺线,导致工艺实验难以有效开展,在一些特殊情况(如突发疫情)下,原本建立的校企、校校合作方式开展的工艺实验难以实施等问题。针对存在的问题,以在功率集成电路中广泛应用的横向扩散金属氧化物半导体(LDMOS)器件为例,开展集成电路工艺制程虚拟仿真实验设计。基于半导体工艺计算机辅助设计(Sentaurus TCAD)虚拟仿真平台,完成LDMOS器件的结构设计、工艺设计、性能测试等实验环节,涵盖了集成电路从硅片选型到芯片成型的全流程工艺。

基于CDIO的集成电路工艺课程的理论与实践教学一体化研究

集成电路制造是集成电路产业链中的重要环节。集成电路工艺课程的实验设置是教学中的重点和难点,直接影响学生对于理论课程的理解和掌握情况。指出了目前集成电路工艺课程教学中存在的问题,基于CDIO模式提出了改进思路,介绍了改革成果,为相关专业集成电路工艺课程的改革提供了有价值的案例。

“集成电路工艺”虚拟实践平台建设与教学实践

在集成电路(IC)工艺的实验教学中,互补金属氧化物半导体(CMOS)集成电路加工工艺实验教学是学生加深对半导体工艺理解的重要环节。由于微电子行业的实验场所、时间以及实验设备的各种限制,真正的实际操作非常有限,导致实验教学效果并不理想。基于这些原因,开发了“集成电路工艺”虚拟实践平台,该平台对传统的实际操作实验教学进行了虚拟仿真,通过该平台学生可以进行集成电路工艺的模拟操作,极大地促进了学生的实验兴趣,并能够加深对集成电路制造工艺的理解。该虚拟实践平台已在学生中使用,取得了良好的实验教学效果。虚拟实践平台可以通过互联网进行优质教学资源共享,对微电子专业学生的实验教学具有良好的促进作用。

集成电路工艺实验教学的探索与实践

在我国集成电路产业又一次高速发展之际,以卓越工程师培养计划为导向,探索并实践了集成电路工艺实验教学。从系统工程的角度,将理论联系实际作为贯穿整个教学的思路与方法。充分发挥了以学生为主的教学形式,完成从设计到实验制作再到测试验证整个过程。将理论与实践结合,创新与实践结合起来,培养了学生分析问题、解决问题的能力。

开创面向21世纪的高等学校理工科专业课教学新局面——兼谈《集成电路工艺原理》课的教学体会与实践

专业课教学是高等院校本科生教学中的重要环节.本文对如何搞好<集成电路工艺原理>课进行了一些初步尝试,同时对今后如何进一步加快专业课教学的改革步伐提出了一些新的设想.

集成电路工艺设计仿真平台的交互设计

本文介绍了集成电路工艺设计仿真平台的系统集成及交互功能设计等技术实现。该系统成功地使用诸多VB API函数,完成了集成电路工艺设计仿真平台的系统集成研究。其研究与开发路线对实现适时性的CAD仿真环境的系统集成开发具有一定的可借鉴性。

集成电路工艺课程教学改革探析

集成电路工艺是微电子专业本科生重要的专业课程。针对课程特点,结合教学实际,提出了包括精心选择教学内容、多方位构建教学平台、注重创新能力培养等教学改革设想及措施,以激发学生的学习兴趣,提高课程教学质量,培养满足新世纪微电子工业所需的专业技术人才。

浅谈多媒体技术在集成电路工艺教学过程中的利与弊

多媒体技术在微电子学科教学中的应用日趋广泛。本文针对多媒体在集成电路工艺教学中的应用及其优缺点进行探讨,给出合理使用多媒体的几点建议,希望更加有效地发挥多媒体的辅助作用,进而提高课堂教学质量。

《集成电路工艺》双语教学改革探索与建议

"集成电路工艺"是微电子科学与工程相关专业的一门重要专业主干课程。本文首先探讨了双语教学的必要性和意义;在总结该课程双语教学存在的主要问题的基础上,从教学内容和教学方法等方面提出了改进措施,为"集成电路工艺"双语教学提供一定的借鉴与参考。

独立学院《集成电路工艺基础》课程教学改革研究

本文结合独立学院电子科学与技术专业应用型人才培养模式的要求,对《集成电路工艺基础》课程进行了初步的教学改革探讨。结合作者的教学实践,介绍了《集成电路工艺基础》课程教学模式、教学内容、教学方式和考核方式的探索。强调"阳光心态,快乐教学"的理念,尝试有效调动学生学习积极性,促进学生学习能力和实践能力的发展,培养合格的电子信息类应用型人才。

集成电路工艺课程立体化教学的探索与实践

集成电路工艺是电子科学与技术专业本科生重要的专业课程,针对课程特点,结合理论授课、TCAD工艺模拟、工艺实验验证三个方面,对构建集成电路工艺的多模式立体化教学平台进行了探索。

电子科学与技术专业集成电路工艺学课程教学改革探讨

集成电路工艺学是沈阳化工大学电子科学与技术专业主干课,课程内容多,知识面广、应用广泛、内容更新速度快。文中结合当前本科教学的要求,在课程内容、教学方法等方面作了一些尝试和探索,取得了较好的效果。

独立学院“集成电路工艺基础”实验教学研究

本文结合独立学院电子科学与技术专业应用型人才培养模式的要求,针对"集成电路工艺基础"课程的实验教学进行了初步的探讨。"集成电路工艺基础"课程的实验教学由工艺模拟多媒体教学系统、基础的半导体平面工艺实验、工艺仿真软件和校企合作等部分组成。在实验教学过程中结合笔者的教学实践,尝试调动学生的学习积极性,促进学生理论学习能力和实践操作能力的发展,培养合格的电子信息类应用型人才。

用于45nm及以下集成电路工艺的高介电常数绝缘栅材料

金属-氧化物-半导体结构（MOS）是目前电子器件中最重要的器件之一，现代电子技术可以说是建立在MOS器件之上的。随着集成电路技术的不断发展，MOS技术到达了一个关键的转折点．由于器件尺寸不断缩小，导致MOS中氧化层厚度相应减小，电子的隧道穿透效应逐渐显现出来，引起的棚极-沟道漏电流急剧增大，导致器件发热量增加、性能下降甚至失效，因此限制了MOS器件尺寸的进一步缩小．

与标准集成电路工艺兼容的硅基光学器件研究

着重介绍了与标准集成电路工艺兼容的硅基光学器件的最新研究进展,包括硅基光发射器、硅基光波导和调制器件、硅基光电探测器和接收机以及硅基光电子集成回路的工作原理、制作工艺和集成技术.与标准集成电路工艺兼容的硅基光电子集成回路能有效地解决电互连芯片内部串扰、带宽和能耗等问题,并能够充分利用现有成熟的集成电路工艺,实现大规模生产,具有广阔的实用前景.

集成电路工艺原理课程的教学与实践

为适应新形势下半导体技术人才的培养,探索集成电路工艺原理课程教学内容、教学方法和教学模式改革具有重要的意义。在教学过程中,采用多媒体、器件仿真和工艺实习等多种教学模式的融合,相比传统的教学方式,学生的学习兴趣、知识面范围和教学效果均得到有效地提高。

离子注入技术在纳米集成电路工艺中的关键应用

近年来,半导体集成电路技术发展迅速,半导体芯片在移动设备领域的应用越发广泛,相应对芯片在能耗和处理速度上的要求也越来越严格,从而催生出一系列半导体制造技术领域的重大革新,在这其中,既包括器件结构的变革如平面器件向三维器件FinFet,Nano-Wire等立体结构的转换,也包括各工艺模块甚至单项工艺技术的革新,如今,以Finfet为代表的立体栅结构已成为22nm技术节点以下逻辑器件的行业主流,各工艺的优化也都围绕着这类器件的需求展开。本文介绍了当前离子注入技术在纳米集成电路制造工艺中的关键应用及未来的发展方向。

未来几年集成电路工艺化学品市场需求强劲增长

受集成电路（IC）小型化需求增长的刺激，纳米电子化学品市场正在快速增长。2007年全球IC工艺化学品的市场需求达到190亿美元，2012年前的年均增速将达到7％～7．5％。应用于太阳能领域的光电池需求的强劲增长、多晶硅供应的短缺以及多晶硅价格的吸引力已经引起了更多的投资者进入太阳能级多晶硅生产领域。

离子注入技术在纳米集成电路工艺中的关键应用分析

近些年来,随着科学技术的不断创新发展,半导体集成电路技术迅速发展成熟,各个行业中都能看到半导体芯片的身影,尤其是在移动设备领域,半导体芯片应用广泛,在此发展背景下,用户对半导体芯片的工作效率和能耗提出了更高要求,技术人员不断进行半导体制造技术创新,取得了优异效果,例如器件结构的转变,平面器件逐步向三维立体结构转换,另外,多种单项工艺技术也在不断进行创新改进,部分先进技术已成为行业顶尖,从整体角度来讲,多种工艺的优化发展仍围绕着纳米集成电路制造工艺进行,基于此,文章深入探讨了离子注入技术在纳米集成电路制造工艺中的应用,并提出了发展建议。

极大规模集成电路工艺用配套超净纯试剂的研制和产业化开发

进入21世纪，世界全面进入了信息化时代，信息产业已成为世界经济中规模最大、发展最为迅速的产业，我国政府已把信息产业作为一个重要的支柱产业。半导体集成电路产业是现代信息产业和信息社会的基础，而大规模集成电路设计制造业更是信息产业的先导和基石，是计算机和通讯设备信息家电的心脏，其影响面广，产业链长。