关于《辽宁省培育壮大集成电路装备产业集群若干措施》的政策解读

一、起草目的为进一步加快推进我省集成电路装备产业发展,培育壮大集成电路装备整机和关键零部件产业,根据辽宁省集成电路装备产业集群发展规划目标,制定本措施。二、主要考虑措施在起草过程中,重点把握以下几个方面:(一)注重培养壮大集成电路装备企业。引导集成电路装备及零部件企业向产业园区聚集,通过统筹整合资源,支持企业做强做大,推进产业链协同发展,增强市场竞争力。

辽宁省人民政府办公厅关于印发辽宁省培育壮大集成电路装备产业集群若干措施的通知

辽宁省人民政府办公厅辽政办〔2022〕57号各市人民政府,省政府各厅委、直属机构,各有关单位:《辽宁省培育壮大集成电路装备产业集群若干措施》已经省政府同意,现印发给你们,请认真贯彻执行。

集成电路装备集成化研发平台

针对集成电路装备研发中的数据集成、应用集成与知识集成问题,设计了集成电路装备集成化研发平台。该平台遵循一切皆为服务的设计原则,使用服务构建应用系统,对产品数据的访问也被封装为统一的数据访问服务供外界调用。给出了集成电路装备集成化产品组件数据视图,并融合数据空间技术完成了异构数据的形式化数据资源建模。给出了基于本体的知识项统一描述方式,在此基础上实现了基于知识推送的知识应用模式。介绍了自主开发的集成电路装备集成化研发平台,并结合PECVD设备中喷淋头的设计,验证了平台的有效性。

国内外集成电路装备现状分析

集成电路(integrated circuit,IC)装备作为集成电路产业发展的关键基础,己成为高技术装备产业的典型代表。一个国家集成电路装备制造业水平的高低,决定了整个集成电路产业的发展水平。本文结合全球集成电路装备产业链条,解析全球及我国集成电路装备的技术体系及竞争态势。分析发现,我国集成电路装备发展快速,但短板仍很明显,应进一步夯实基础,加快提升创新步伐。

“集成电路装备和材料”专题征稿通知

随着中国经济社会发展的转型,集成电路产业的基础性、战略性、先导性作用日益凸显,有目共睹。半导体装备和材料作为整个产业链的上游环节,对整个行业的发展都起着至关重要的支撑作用。我国的集成电路设备和材料产业取得了显著的成就,高端设备从无到有,研发水平逐步与国际先进水平缩短差距。但我国在关键材料、设备与核心技术方面仍存在较大差距,重点领域关键技术“卡脖子”问题依然突出,产业生态也亟待改善。

“集成电路装备和材料”专题征稿通知

随着中国经济社会发展的转型,集成电路产业的基础性、战略性、先导性作用日益凸显,有目共睹。半导体装备和材料作为整个产业链的上游环节,对整个行业的发展都起着至关重要的支撑作用。我国的集成电路设备和材料产业取得了显著的成就,高端设备从无到有,研发水平逐步与国际先进水平缩短差距。但我国在关键材料、设备与核心技术方面仍存在较大差距,重点领域关键技术“卡脖子”问题依然突出,产业生态也亟待改善。

“集成电路装备和材料”专题征稿通知

随着中国经济社会发展的转型,集成电路产业的基础性、战略性、先导性作用日益凸显,有目共睹。半导体装备和材料作为整个产业链的上游环节,对整个行业的发展都起着至关重要的支撑作用。我国的集成电路设备和材料产业取得了显著的成就,高端设备从无到有,研发水平逐步与国际先进水平缩短差距。但我国在关键材料、设备与核心技术方面仍存在较大差距,重点领域关键技术“卡脖子”问题依然突出,产业生态也亟待改善。

集成电路装备产业的全球竞争格局与我国竞争态势分析

在文献综述的基础上,通过产业竞争态势研究,分析全球及我国集成电路装备产业的竞争态势,并在此基础上,分析和提出我国集成电路装备产业的发展建议。研究表明,美国、日本、韩国和荷兰仍是集成电路装备产业发展的强国,且各国政府是推动产业发展的主导力量,但全球市场却趋于向东亚转移。我国集成电路装备产业已形成较为完善的产业链结构和产业配套体系,主要集中于上海与北京等地,已初步具备参与全球竞争的基础,但国家科技计划在部分领域仍有缺失。研究提出,我国应在加快形成龙头引领、强化科技布局等方面进一步发挥基础优势,紧跟国际发展步伐,提升产业竞争力。

面向自动测试的集成电路制造装备测试模型

对于典型的集成电路制造装备,提出了一种面向自动测试系统的多层次测试模型;使用层次化建模方法进行建模,将典型集成电路制造装备的测试模型按层次划分为装备级、子系统级和仪器级;利用XML建立了模块化的测试模型的描述,并使用引用的方式实现测试模型的重用;提出了使用时间信息和GUID确定被引用测试模型可用性的算法;该模型被用于具有工艺腔室的典型集成电路制造装备中,提高了测试模型的重用性,并拓展了对不同层次被测对象的测试能力。

基于SEMI标准的集成电路制造装备控制系统设计

随着集成电路制造装备的复杂度越来越高,设计一个符合SEMI标准的集成电路制造装置控制系统显得尤为重要。针对SEMI标准的要求,提出了一种控制系统的结构设计方法。设计的系统定义了SEMI标准中规定的控制模型与状态模型及其他操作,能够满足实际控制需要与SEMI标准的要求。

高端制造装备关键技术的科学问题

分析了高端制造装备的国家重大需求和面临的发展机遇,讨论了现阶段高端数控机床和极大规模集成电路制造装备研发的主要任务,通过分析这两类高端制造装备的研究现状与发展趋势,总结出了高性能运动控制、高速高精度驱动、装备与工艺动态交互作用、精密加工的环境控制四方面的关键科学问题。

国家科技重大专项组织申报浅析

国家科技重大专项项目申报具有时间紧、任务重、要求高的特点,加强项目申报分析、组织和管理十分关键。本文就重大专项申报过程及重要关注点进行论述,为企业提高申报工作质量,熟悉申报程序提供借鉴和参考。

聚焦自主可控生态建设 支撑星融网落地

近年来,在国家的支持和引导下,我国网信领域核心技术攻关取得显著成效,但一些关键产品和领域仍然受制于人,需要全产业链系统布局的体系化创新,要举全国之力加速构建自主可控生态体系。本文根据作者在钱学森论坛深度研讨会:'新时代、高质量、强动力——中美贸易战与星融网之使命担当'上的演讲整理。