基于液态膜的集成电路电光检测技术

利用液态膜作为电场探测的电光材料。液态膜的探测电压灵敏度比GaAs材料高2个数量级。其原理是,基于液态极性分子的取向极化,液态膜的折射率受电场调制,从而实现电光测量。实验结果表明,在调制电场1kHz频率下测量液态膜电光系数达到95pm/V。利用液态膜对集成电路进行检测具有简单、高效的特点,很好地完成了低频场探测中弱信号的电压测量和波形显示。