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雪崩光电二极管芯片自动测试系统
1
作者
杨红伟
张岩
+1 位作者
齐利芳
尹顺政
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第6期473-477,共5页
利用Keithley 2400源表、AV6381可编程光衰减器、AV 38124 1 550 nm单模半导体激光器和TZ-608B型光电屏蔽探针台搭建雪崩光电二极管芯片自动测试系统。在Labview环境下开发了自动测试软件,通过软件控制测量仪表,实现了雪崩光电二极管芯...
利用Keithley 2400源表、AV6381可编程光衰减器、AV 38124 1 550 nm单模半导体激光器和TZ-608B型光电屏蔽探针台搭建雪崩光电二极管芯片自动测试系统。在Labview环境下开发了自动测试软件,通过软件控制测量仪表,实现了雪崩光电二极管芯片的击穿电压、暗电流、穿通电压及10倍增益工作点电压的自动测试及合格判定。探针台可以根据测量系统反馈的判定结果对不合格芯片进行NG标记,方便划片后对不合格芯片进行筛选和剔除。建立的自动测试系统准确性高,测试速度快,软件操作方便,显示结果直观。同时可以实现测试参数的自动存储,方便进行统计过程控制(SPC)分析。
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关键词
雪崩光电二极管芯片
击穿电压
穿通电压
暗电流
测试系统
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职称材料
题名
雪崩光电二极管芯片自动测试系统
1
作者
杨红伟
张岩
齐利芳
尹顺政
机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第6期473-477,共5页
文摘
利用Keithley 2400源表、AV6381可编程光衰减器、AV 38124 1 550 nm单模半导体激光器和TZ-608B型光电屏蔽探针台搭建雪崩光电二极管芯片自动测试系统。在Labview环境下开发了自动测试软件,通过软件控制测量仪表,实现了雪崩光电二极管芯片的击穿电压、暗电流、穿通电压及10倍增益工作点电压的自动测试及合格判定。探针台可以根据测量系统反馈的判定结果对不合格芯片进行NG标记,方便划片后对不合格芯片进行筛选和剔除。建立的自动测试系统准确性高,测试速度快,软件操作方便,显示结果直观。同时可以实现测试参数的自动存储,方便进行统计过程控制(SPC)分析。
关键词
雪崩光电二极管芯片
击穿电压
穿通电压
暗电流
测试系统
Keywords
avalanche photodiode
breakdown voltage
punch-through voltage
dark current
test system
分类号
TN364.2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
雪崩光电二极管芯片自动测试系统
杨红伟
张岩
齐利芳
尹顺政
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2015
0
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