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题名一种雪花型MEMS单刀五掷开关的研究与设计
被引量:10
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作者
范丽娜
吴倩楠
王姗姗
韩路路
侯文
李孟委
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机构
中北大学南通智能光机电研究院
中北大学信息与通信工程学院
中北大学前沿交叉科学研究院
中北大学微系统集成研究中心
中北大学理学院
中北大学仪器与电子学院
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出处
《微电子学》
CAS
北大核心
2021年第4期533-538,共6页
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基金
双百工艺攻关(JCKY2018408B006)
新品项目(2017XW1001)
预研项目(31513060101)。
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文摘
针对MEMS单刀多掷(SPMT)开关插入损耗及隔离度较差的问题,设计了一种基于雪花型功分器的单刀五掷(SP5T)MEMS开关,通过雪花型功分器实现信号的均衡分配和低损耗传输。通过设计H形上电极结构,有效减小开关弱接触,增强开关接触稳定性,实现信号的高隔离。采用HFSS仿真软件,对开关的插入损耗、隔离、驱动电压和应力分布进行了设计,并结合COMSOL软件对开关进行了机械性能分析。结果表明,在1~20 GHz频段内,五个端口插入损耗在0.2 dB@20 GHz以下,隔离度在23 dB@20 GHz以上,驱动电压为24 V。这些指标均优于常规SPMT开关。该SP5T MEMS开关可应用于多任务、多通道可调谐器件中,在无线通信、微波测试系统中具有应用价值。
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关键词
单刀五掷开关
MEMS
雪花型功分器
高隔离
低插损
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Keywords
single pole five throw switch
MEMS
snowflake power divider
high isolation
low insertion loss
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分类号
TN389
[电子电信—物理电子学]
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