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高温压力传感器温度特性的芯片内补偿技术
被引量:
2
1
作者
曲宏伟
姚素英
+2 位作者
张生才
赵毅强
张为
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第2期212-214,217,共4页
本文在分析、测试多晶硅高温压力传感器温度特性的基础上 ,提出了一种新的改善传感器温度特性的措施。通过在压力传感器芯片上集成低阻值的多晶硅电阻网络与温度传感器 ,不仅可以很好的补偿传感器的零点温漂 ,也可以借助传感器信号处理...
本文在分析、测试多晶硅高温压力传感器温度特性的基础上 ,提出了一种新的改善传感器温度特性的措施。通过在压力传感器芯片上集成低阻值的多晶硅电阻网络与温度传感器 ,不仅可以很好的补偿传感器的零点温漂 ,也可以借助传感器信号处理单元 ,方便地实现对灵敏度温度系数的补偿。经补偿 ,传感器的零点温漂达到 1× 10 -4/℃ ,灵敏度温漂小于 -2× 10 -4/℃。实验表明 :该方法的补偿温区宽 ,通用性强 。
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关键词
温度特性
多晶硅高温压力传感器
零位失调
灵敏度
温度补偿
下载PDF
职称材料
题名
高温压力传感器温度特性的芯片内补偿技术
被引量:
2
1
作者
曲宏伟
姚素英
张生才
赵毅强
张为
机构
天津大学电子信息工程学院
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第2期212-214,217,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目 (698760 2 7)
文摘
本文在分析、测试多晶硅高温压力传感器温度特性的基础上 ,提出了一种新的改善传感器温度特性的措施。通过在压力传感器芯片上集成低阻值的多晶硅电阻网络与温度传感器 ,不仅可以很好的补偿传感器的零点温漂 ,也可以借助传感器信号处理单元 ,方便地实现对灵敏度温度系数的补偿。经补偿 ,传感器的零点温漂达到 1× 10 -4/℃ ,灵敏度温漂小于 -2× 10 -4/℃。实验表明 :该方法的补偿温区宽 ,通用性强 。
关键词
温度特性
多晶硅高温压力传感器
零位失调
灵敏度
温度补偿
Keywords
High\|temperature polysilicon pressure sensor\ Offset\ Sensitivity\ Temperature compensation
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高温压力传感器温度特性的芯片内补偿技术
曲宏伟
姚素英
张生才
赵毅强
张为
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
2
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