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题名新型椭球形窗口零位检测技术研究
被引量:1
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作者
曲贺盟
张新
王灵杰
张继真
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机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术中国科学院重点实验室
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出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第2期204-207,共4页
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基金
国家自然科学基金青年科学基金(61007009)
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文摘
椭球形窗口的检测技术严重阻碍其成功应用。首先简要介绍了目前普遍使用的非球面检测技术,并针对椭球形窗口大倾斜、大偏心、深非球面的特点,基于零位补偿检测法原理,设计了一种适合椭球形窗口检测的改进型Offner零位补偿检测系统。检测系统包括补偿镜、场镜和标准球面参考镜,检测系统工作原理为:干涉仪出射平行光线通过补偿镜及场镜产生修正波前,通过椭球形窗口照射到标准球面反射镜,并按原光路返回与参考光线干涉,其干涉结果显示出椭球形窗口的面形偏差。实现了对椭球形窗口的高精度全口径一次检测并给出了完整的设计结果。检测了长径比为1.0,口径为110mm的椭球形窗口,其波前残余波像差均方根值为0.0052λ。设计结果为实际使用提供了一定的参考。
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关键词
光学设计
光学检测
椭球形窗口
零位检测
零位补偿器设计
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Keywords
optical design
optical metrology
elliptical window
null test
null lens compensator design
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分类号
TN216
[电子电信—物理电子学]
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题名大非球面度快焦比中大口径高次非球面检测
被引量:4
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作者
何丽
武中华
康燕
苏志德
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机构
中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所
中国科学院天文光学技术重点实验室
中国科学院大学
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出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2016年第12期214-221,共8页
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基金
国家自然科学基金(11203049)
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文摘
近年来,大口径、大非球面度、快焦比、高次非球面光学元件在天文光学、空间光学和地基空间目标探测与识别等领域得到了越来越广泛的应用。目前对此类光学元件的检测一般采用零位补偿法或消回程误差的非零位检测法。其中消回程误差的非零位补偿法处理过程复杂,缺乏检测直观性,且测量精度无法保证,故在针对一些面形精度要求非常高的镜面时并不适用。以口径为1020mm、焦比为1/0.5、非球面度为1.8mm、高次项达6次的凹高次非球面反射镜检测为研究基础,提出了分阶段设计零位补偿检验光路的新思路,以满足此类镜面在粗抛、精抛、干涉仪检测等不同研制与检验阶段的需求。最终检测面形精度达到了λ/50。
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关键词
光学设计
大口径非球面检测
非球面研制
零位补偿器设计
组合检验
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Keywords
optical design
large diameter aspheric testing
aspherical processing
null lens system design
combination testing
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分类号
TN247
[电子电信—物理电子学]
O439
[机械工程—光学工程]
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