零蠕变法测量固-固相界面能研究

金属多层膜在高温低应力条件下发生弹性蠕变时,由于膜的塑性流动,使得测量金属固固相界面能成为可能。介绍了一种测量金属固-固相界面能的方法——零蠕变法,并着重阐述双向零蠕变法的原理和设备。

一种测量金属固-固相界面自由能的新方法

采用零蠕变法测量Si(111)单晶片上沉积的TiAl Al多层膜界面自由能。其实验方法为 :采用基片曲率法测量TiAl Al多层膜升温退火过程中的应力变化 ,分别在 35 0℃、4 0 0℃、4 5 0℃和 5 0 0℃保温 ,发现 5 0 0℃时多层膜达到平衡状态 ,最终的平衡应力为 0 5 7MPa ,计算TiAl Al的界面自由能γint为 0 19J m2 。