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Φ1.2m F/1.5抛物面主镜补偿器 被引量:1
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作者 陈强 袁家虎 +2 位作者 伍凡 高平起 吴高峰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期1384-1388,共5页
用于Φ1.2 mF/1.5主镜面形检验的补偿器,需要补偿0.087 mm的非球面度,并满足0.033λ(RMS)面形检测要求。介绍了该补偿器的设计、误差分析、加工、标校及最终主镜检测的情况。主镜检测前用计算全息(CGH)对补偿器标校显示:补偿器产生的抛... 用于Φ1.2 mF/1.5主镜面形检验的补偿器,需要补偿0.087 mm的非球面度,并满足0.033λ(RMS)面形检测要求。介绍了该补偿器的设计、误差分析、加工、标校及最终主镜检测的情况。主镜检测前用计算全息(CGH)对补偿器标校显示:补偿器产生的抛物面面形误差为0.012λ(RMS),二次曲面常数K的误差为0.006 4%;主镜最终补偿检测结果为:面形误差0.027λ(RMS),二次曲面常数K的误差为0.030 6%,与分析的结果相符。结果表明,补偿器设计合理,建立的误差分析原则和方法可行,加工质量可靠,为更大口径高陡度非球面主镜的补偿检验奠定了坚实基础。 展开更多
关键词 光学加工 非球面检验 零补偿检验 补偿器设计 补偿器标校
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