一种硅基静电微马达

本文介绍我们最近研制的一种硅基集成微马达。其制作工艺非常简单，仅包括四次光刻、两次多晶硅膜淀积和两次ＳｉＯ２牺牲层淀积。实现了快速、方便及批量地制作测量分析用的微马达样品。该微马达转子和定子由厚度为２．５μｍ左右的ＬＰＣＶＤ多晶硅膜一次形成，因而转子与定子的间距可减小到１０～１．５μｍ。初步测量结果表明，微晃动马达的最低驱动电压为４９Ｖ，最高转速估计可达６００ｒｐｍ。

压电微马达研究进展

利用网络和图书馆对国际上 1996年至今的压电微马达研究进展进行了调研。分别介绍了压电薄膜、陶瓷的行波、驻波类微马达的最新研究情况 ,同时也对一种具有与压电微马达特性相同的静电超声微马达的研究作了说明 。

新型摩擦电微马达在无人驾驶等领域应用前景广阔

中国科学院北京纳米能源与系统研究所张弛研究员团队开发出一种基于摩擦纳米发电机的静电微马达,该机械结构可将环境中极低频率的微小机械能,转化为电能并驱动微马达高速运转。研究表明,摩擦电微马达能够在低至0.1 Hz的外部机械激励下实现启动,并在0??8Hz时达到1350r/min,电能驱动效率达到41%。该摩擦电微马达结构简单、易于制造、成本低廉,既发挥了摩擦纳米发电机低频高压的优势,又具有静电马达高转速、低功耗的特点,在无人驾驶、人工智能、环境监测等领域有着极大的应用前景。

一种二次自对准的镍微静电马达

设计出一种微静电ｗｏｂｂｌｅ马达，定子电极的一部分重叠在转子之上，微马达用二次自对准的准ＬＩＧＡ技术制作，电铸镍作结构层（定子、转子和轴），电铸铜作牺牲层，得到的转子与定子、转子和轴的间隙分别为２．５和１．３μｍ。马达制备的关键工艺都在低温下完成。在定子和转子间加电压１５Ｖ，观察到马达转子开始晃动，３０～５５Ｖ时连续转动，转速和减速比随电压和频率变化，对实验结果进行了讨论。