期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
静电梳齿执行器分辨率和稳定性分析
被引量:
3
1
作者
刘恒
苏伟
+1 位作者
何晓平
张富堂
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第1期34-37,共4页
通过探讨典型的静电梳齿执行器的分辨率和稳定性的机理,揭示目前研究的典型等高度静电梳齿执行器的横向位移与驱动电压具有非线性关系,分辨率存在线性度差的问题。鉴于目前大多数通过增加梳齿结构平面复杂度来改善分辨率的方法存在的微...
通过探讨典型的静电梳齿执行器的分辨率和稳定性的机理,揭示目前研究的典型等高度静电梳齿执行器的横向位移与驱动电压具有非线性关系,分辨率存在线性度差的问题。鉴于目前大多数通过增加梳齿结构平面复杂度来改善分辨率的方法存在的微制造困难,本文提出在不显著影响横向位移的条件下通过改变梳齿结构高度来改善分辨率的方法,事例仿真结果验证了梳齿变高度方法对改善分辨率的有效性,同时得到在梳齿变高度条件下静电梳齿执行器的稳定性有细微的下降的结论。
展开更多
关键词
静电梳齿微执行器
分辨率
变高度
非线性
下载PDF
职称材料
题名
静电梳齿执行器分辨率和稳定性分析
被引量:
3
1
作者
刘恒
苏伟
何晓平
张富堂
机构
重庆大学通信工程学院
中国工程物理研究院电子工程研究所
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第1期34-37,共4页
基金
"十五"国防预研项目资助
文摘
通过探讨典型的静电梳齿执行器的分辨率和稳定性的机理,揭示目前研究的典型等高度静电梳齿执行器的横向位移与驱动电压具有非线性关系,分辨率存在线性度差的问题。鉴于目前大多数通过增加梳齿结构平面复杂度来改善分辨率的方法存在的微制造困难,本文提出在不显著影响横向位移的条件下通过改变梳齿结构高度来改善分辨率的方法,事例仿真结果验证了梳齿变高度方法对改善分辨率的有效性,同时得到在梳齿变高度条件下静电梳齿执行器的稳定性有细微的下降的结论。
关键词
静电梳齿微执行器
分辨率
变高度
非线性
Keywords
electrostatic comb micro-actuator resolution variable-height
nonlinearity
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
静电梳齿执行器分辨率和稳定性分析
刘恒
苏伟
何晓平
张富堂
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009
3
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部