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静电梳齿微谐振器结构参数化设计
被引量:
1
1
作者
刘恒
张富堂
+1 位作者
何晓平
苏伟
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2009年第7期82-85,共4页
从理论上分析静电梳齿微谐振器的机械力学特性,给出了活动梳齿的横向谐振频率解析解。鉴于目前静电微谐振器模拟仿真中存在的问题,提出利用基于MAST语言实现的MEMS宏模块建立微谐振器系统级通用仿真模型,为验证外围电路提供了基础。仿...
从理论上分析静电梳齿微谐振器的机械力学特性,给出了活动梳齿的横向谐振频率解析解。鉴于目前静电微谐振器模拟仿真中存在的问题,提出利用基于MAST语言实现的MEMS宏模块建立微谐振器系统级通用仿真模型,为验证外围电路提供了基础。仿真结果与理论模态分析相一致,验证了模型的有效性。通过谐振频率对结构参数的敏感性分析为优化谐振器性能提供基础,使工作模态远离其他高阶模态;合理安排激励电极,抑制一阶模态扰动。敏感性仿真表明:在横向振动微谐振器中,工作模态谐振频率随梁长的增加而减小;随梁宽的增加而增大;结构层厚度对横向振动频率没有影响;梳齿部分所有参数的变化造成频率的反向变化。
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关键词
静电梳齿微谐振器
参数模型
谐振
频率
灵敏度分析
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职称材料
题名
静电梳齿微谐振器结构参数化设计
被引量:
1
1
作者
刘恒
张富堂
何晓平
苏伟
机构
重庆大学通信工程学院
中国工程物理研究院电子工程研究所
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2009年第7期82-85,共4页
基金
"十五"国防预研基金资助项目
文摘
从理论上分析静电梳齿微谐振器的机械力学特性,给出了活动梳齿的横向谐振频率解析解。鉴于目前静电微谐振器模拟仿真中存在的问题,提出利用基于MAST语言实现的MEMS宏模块建立微谐振器系统级通用仿真模型,为验证外围电路提供了基础。仿真结果与理论模态分析相一致,验证了模型的有效性。通过谐振频率对结构参数的敏感性分析为优化谐振器性能提供基础,使工作模态远离其他高阶模态;合理安排激励电极,抑制一阶模态扰动。敏感性仿真表明:在横向振动微谐振器中,工作模态谐振频率随梁长的增加而减小;随梁宽的增加而增大;结构层厚度对横向振动频率没有影响;梳齿部分所有参数的变化造成频率的反向变化。
关键词
静电梳齿微谐振器
参数模型
谐振
频率
灵敏度分析
Keywords
electrostatic comb micro-resonators
parameter model
resonant frequency
sensitivity analysis
分类号
TP216 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
静电梳齿微谐振器结构参数化设计
刘恒
张富堂
何晓平
苏伟
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2009
1
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