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硅微陀螺梳齿驱动的面内失准分析
被引量:
1
1
作者
刘梅
周百令
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
2006年第2期73-77,共5页
静电梳齿微驱动器因其结构简单、功耗低、灵敏度高、受温度影响小,成为硅微陀螺仪的主要驱动方式。静电梳齿微驱动器通常由活动梳齿和固定梳齿组成。理想情况下,活动梳齿平行地位于两固定梳齿中心位置。但由于加工误差、驱动结构不对称...
静电梳齿微驱动器因其结构简单、功耗低、灵敏度高、受温度影响小,成为硅微陀螺仪的主要驱动方式。静电梳齿微驱动器通常由活动梳齿和固定梳齿组成。理想情况下,活动梳齿平行地位于两固定梳齿中心位置。但由于加工误差、驱动结构不对称、扰动等因素,使得活动梳齿相对固定梳齿发生偏转。该文应用能量法及虚功原理,建立了梳齿之间的力与力矩平衡方程。得出了非理想情况下,偏离距离和转角的解析表达式,并分析得出了梳齿间的临界电压。经过数值仿真发现,梳齿面内既偏转又转动时的临界电压小于只发生偏转或转动时的临界电压。
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关键词
静电梳齿微驱动器
面内失准
临界电压
能量法
虚功原理
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职称材料
题名
硅微陀螺梳齿驱动的面内失准分析
被引量:
1
1
作者
刘梅
周百令
机构
东南大学仪器科学与工程系
出处
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
2006年第2期73-77,共5页
基金
国家高技术研究发展计划(863计划)(2002AA812038)
文摘
静电梳齿微驱动器因其结构简单、功耗低、灵敏度高、受温度影响小,成为硅微陀螺仪的主要驱动方式。静电梳齿微驱动器通常由活动梳齿和固定梳齿组成。理想情况下,活动梳齿平行地位于两固定梳齿中心位置。但由于加工误差、驱动结构不对称、扰动等因素,使得活动梳齿相对固定梳齿发生偏转。该文应用能量法及虚功原理,建立了梳齿之间的力与力矩平衡方程。得出了非理想情况下,偏离距离和转角的解析表达式,并分析得出了梳齿间的临界电压。经过数值仿真发现,梳齿面内既偏转又转动时的临界电压小于只发生偏转或转动时的临界电压。
关键词
静电梳齿微驱动器
面内失准
临界电压
能量法
虚功原理
Keywords
electrostatic comb-finger actuator
in-plane misaligmnent
critical voltage
energy method
virtual work principle
分类号
U666.1 [交通运输工程—船舶及航道工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
硅微陀螺梳齿驱动的面内失准分析
刘梅
周百令
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
2006
1
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