用于电容式传感器的静电激振台的研究

提出了用静电力激振法确定电容式加速度传感器的动态特性 ,并分析了其静电力的非线性、频率误差及补偿传感器本身寄生电容的方法。给出的静电振动台结构简单、经济实用 ,具有很宽的低频测量范围 (可达 1Hz)和较低的静电力非线性系数 ,输出端具有较高的信噪比 ,可广泛用于电容式传感器频率特性的测试及结构优化。本文给出了传感器在静电振动台上的测试结果。结果表明 :传感器可动系统的几何参数直接影响频率特性曲线 ,随着传感器平均空气间隙的减小 。