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多参数耦合下电子枪静电聚焦特性分析 被引量:5
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作者 邱宇帆 李胜波 +2 位作者 郑新建 符升平 白凤民 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第11期1094-1100,共7页
电子枪静电聚焦特性影响电子束焊接质量,目前没有系统的理论方法计算不同型号电子枪内反映静电聚焦特性的束腰参数。通过理论分析电子枪内轴上电位分布与电子束束腰半径和位置间的映射关系,阐释电子枪静电聚焦特性;采用CST仿真平台,以... 电子枪静电聚焦特性影响电子束焊接质量,目前没有系统的理论方法计算不同型号电子枪内反映静电聚焦特性的束腰参数。通过理论分析电子枪内轴上电位分布与电子束束腰半径和位置间的映射关系,阐释电子枪静电聚焦特性;采用CST仿真平台,以某电子枪为例,设置激励源参数和边界条件,构建某电子枪静电透镜分析模型,仿真不同结构参数下电子束束腰位置和束腰截面积,结合数值分析结果,探明不同结构参数对轴上电位的影响,验证电子枪静电透镜分析模型。仿真结果为电子枪关键参数的设计和优化提供理论支撑。 展开更多
关键词 电子枪 多参数耦合 静电聚焦特性 束腰半径 束腰位置
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