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金属镍微型静电马达的初步研制 被引量:2
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作者 王添平 王效东 +2 位作者 解健芳 谭淞生 王渭源 《传感技术学报》 CAS CSCD 1995年第2期69-73,共5页
设计了一种材料为金属镍的摆动式(WObble)微型静电马达,马达转子直径140μm,厚度8μm,外观总体尺寸1 mm×1 mm.此马达首先是在硅衬底上利用准LIGA技术电镀形成,然后利用RIE释放.文中给出了微型摆动式静电马达的设计思想和制作工艺,... 设计了一种材料为金属镍的摆动式(WObble)微型静电马达,马达转子直径140μm,厚度8μm,外观总体尺寸1 mm×1 mm.此马达首先是在硅衬底上利用准LIGA技术电镀形成,然后利用RIE释放.文中给出了微型摆动式静电马达的设计思想和制作工艺,并对工艺及马达驱动中出现的一些问题进行讨论. 展开更多
关键词 静电马达 反应离子刻蚀 微型 马达
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一种二次自对准的镍微静电马达 被引量:1
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作者 毛敏耀 王效东 +1 位作者 解健芳 王渭源 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 1996年第3期147-151,共5页
设计出一种微静电wobble马达,定子电极的一部分重叠在转子之上,微马达用二次自对准的准LIGA技术制作,电铸镍作结构层(定子、转子和轴),电铸铜作牺牲层,得到的转子与定子、转子和轴的间隙分别为2.5和1.3μm。马... 设计出一种微静电wobble马达,定子电极的一部分重叠在转子之上,微马达用二次自对准的准LIGA技术制作,电铸镍作结构层(定子、转子和轴),电铸铜作牺牲层,得到的转子与定子、转子和轴的间隙分别为2.5和1.3μm。马达制备的关键工艺都在低温下完成。在定子和转子间加电压15V,观察到马达转子开始晃动,30~55V时连续转动,转速和减速比随电压和频率变化,对实验结果进行了讨论。 展开更多
关键词 静电马达 微电机 镍基
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一种输出特性可调的双电极袋式静电驱动器
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作者 陈逸星 李宝福 《计量与测试技术》 2023年第12期58-61,共4页
通过对袋式马达型液压放大自愈静电(Peano-HASEL)驱动器的结构设计改进,使用双电极和单元模块化设计,放大驱动器在高度方向上的输出应变率,对并联堆叠的驱动器施加宽度方向上的预紧力,形成输出特性可调节的双电极Peano-HASEL驱动器。根... 通过对袋式马达型液压放大自愈静电(Peano-HASEL)驱动器的结构设计改进,使用双电极和单元模块化设计,放大驱动器在高度方向上的输出应变率,对并联堆叠的驱动器施加宽度方向上的预紧力,形成输出特性可调节的双电极Peano-HASEL驱动器。根据系统平衡理论,对单元模块建立理论分析模型,使用COMSOLMultiphysics建立多物理场仿真模型,并搭建实验平台,对理论分析模型进行验证,并分析影响驱动器驱动性能的主要因素。 展开更多
关键词 袋式马达型液压放大自愈静电驱动器 系统平衡理论 多物理场仿真模型
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压电微马达研究进展 被引量:5
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作者 阎立 褚祥诚 +1 位作者 董蜀湘 李龙土 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2002年第2期116-121,共6页
利用网络和图书馆对国际上 1996年至今的压电微马达研究进展进行了调研。分别介绍了压电薄膜、陶瓷的行波、驻波类微马达的最新研究情况 ,同时也对一种具有与压电微马达特性相同的静电超声微马达的研究作了说明 。
关键词 压电微马达 压电薄膜 静电超声微马达
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直径1.4毫米的超小型马达
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作者 王萍 酉星 《中国科教创新导刊》 1995年第6期55-55,共1页
在一此外科手术中,对于那些难于用手触及到的部位需要用器具实施手术。而这些器具必须微型化才能进入人体内。目前的医疗器械及部件越来越微型化,可把它送入人体内以及原子反应堆的细管中进行检测。日本松下技研公司开发的驱动装置的中... 在一此外科手术中,对于那些难于用手触及到的部位需要用器具实施手术。而这些器具必须微型化才能进入人体内。目前的医疗器械及部件越来越微型化,可把它送入人体内以及原子反应堆的细管中进行检测。日本松下技研公司开发的驱动装置的中心部件——超小型马达(传动装置)是一种超小型静电微型马达(摆动马达),直径仅1.4毫米,约长10毫米,其功率与搭载在无线寻呼机上发生振动的马达相同。 展开更多
关键词 微型机械 超小型机器人 摆动马达 传动装置 超声波 微细加工技术 静电马达 外科手术 微型马达 医疗器械
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新型摩擦电微马达在无人驾驶等领域应用前景广阔
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《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2019年第6期131-131,共1页
中国科学院北京纳米能源与系统研究所张弛研究员团队开发出一种基于摩擦纳米发电机的静电微马达,该机械结构可将环境中极低频率的微小机械能,转化为电能并驱动微马达高速运转。研究表明,摩擦电微马达能够在低至0.1 Hz的外部机械激励下... 中国科学院北京纳米能源与系统研究所张弛研究员团队开发出一种基于摩擦纳米发电机的静电微马达,该机械结构可将环境中极低频率的微小机械能,转化为电能并驱动微马达高速运转。研究表明,摩擦电微马达能够在低至0.1 Hz的外部机械激励下实现启动,并在0??8Hz时达到1350r/min,电能驱动效率达到41%。该摩擦电微马达结构简单、易于制造、成本低廉,既发挥了摩擦纳米发电机低频高压的优势,又具有静电马达高转速、低功耗的特点,在无人驾驶、人工智能、环境监测等领域有着极大的应用前景。 展开更多
关键词 静电马达 无人驾驶 摩擦电 应用 纳米发电机 机械结构 环境监测 中国科学院
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一种硅基静电微马达
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作者 谢会开 孙曦庆 +1 位作者 刘理天 李志坚 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 1996年第3期143-146,共4页
本文介绍我们最近研制的一种硅基集成微马达。其制作工艺非常简单,仅包括四次光刻、两次多晶硅膜淀积和两次SiO2牺牲层淀积。实现了快速、方便及批量地制作测量分析用的微马达样品。该微马达转子和定子由厚度为2.5μm左右的L... 本文介绍我们最近研制的一种硅基集成微马达。其制作工艺非常简单,仅包括四次光刻、两次多晶硅膜淀积和两次SiO2牺牲层淀积。实现了快速、方便及批量地制作测量分析用的微马达样品。该微马达转子和定子由厚度为2.5μm左右的LPCVD多晶硅膜一次形成,因而转子与定子的间距可减小到10~1.5μm。初步测量结果表明,微晃动马达的最低驱动电压为49V,最高转速估计可达600rpm。 展开更多
关键词 硅基 静电马达 微电机
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凸极轴瓦结构的微晃动马达制作与性能研究 被引量:2
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作者 齐臣杰谢会开 谭智敏 刘理天 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 1998年第2期83-88,共6页
采用了一种凸形轴承结构的硅基微晃动马达。它具有工艺简单,与IC工艺完全兼容;还具有摩擦力矩小,大大地减少了转子的摩擦阻力。实现了电启动,最小启动电压45V,最小维持电压25V。维持晃动的最低脉冲激励频率50Hz。最高... 采用了一种凸形轴承结构的硅基微晃动马达。它具有工艺简单,与IC工艺完全兼容;还具有摩擦力矩小,大大地减少了转子的摩擦阻力。实现了电启动,最小启动电压45V,最小维持电压25V。维持晃动的最低脉冲激励频率50Hz。最高转速600rpm,转速0~600rpm连续可调、转动平稳,无抖动。寿命达几小时。 展开更多
关键词 晃动马达 静电马达 凸形轴承 硅微马达
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