非光敏聚酰亚胺钝化工艺研究

本文介绍了非光敏聚酰亚胺用于双极型高压晶体管芯片制造阶段的表面钝化的工艺。该工艺的应用使晶体管生产成本有了大幅度的下降。

基于聚酰亚胺的神经微电极的制备及特性研究

提出了一种基于非光敏型聚酰亚胺PI-5J的柔性薄膜神经微电极的制作方法，利用常规光刻技术设计和制作出了适合植入的柔性神经刺激微电极阵列，并通过离体实验对其进行了微电极的老化测试和电学特性测试，通过在体实验进行了微电极的生物相容性测试。测试结果显示，制作出的微电极不容易老化，而且具有很好的生物相容性和电学性能，此实验结果为进一步的动物在体实验提供了重要依据。上述制作柔性神经微电极的方法对于促进神经科学的基础研究和神经疾病的治疗和康复具有重要意义。