非匀质渐变折射率增透膜的制备方法

增透膜是指具有降低表面反射率、增加透过率特性的光学薄膜。随着太阳能源、光学观测、新型光学系统等应用领域的发展,对具有宽角度增透特性的薄膜的需求越来越迫切,已经成为国内外光学领域的研究热点。本文介绍了非匀质渐变折射率增透膜倾斜沉积、干法刻蚀、湿法刻蚀制备方法和性能的最新进展,并进行了分析与评价。讨论了非匀质渐变折射率增透膜的制备在研究中面临的挑战与可行的研究方向。