利用非规整膜系实现宽角度入射减偏振、减反射薄膜的研究

利用非均匀膜系理论对宽角度入射减偏振、减反射薄膜进行优化设计,分析了在宽角度入射的情况下,偏振光产生透过率不同的原因,选取了Na3AlF6、Ta2O5和Al2O3三种不同折射率材料,采用BK7作为基底,模拟设计了光谱区在500 ～560 nm波段、入射角为0 ～70°之间的多层减偏振、减反射薄膜,设计结果表明,薄膜的透过率得到大幅度提高.

薄膜光学理论与膜系设计

O484.1 2004064347 宽角度入射600～700nm波段减反射薄膜的研究=Study of antireflection coatings of 600～700 nm at wide angle incidence[刊,中]/徐晓峰（中科院上海技物所.上海（200083））,张凤山…∥光学学报.—2004,24（9）.—1173-1176 阐述了利用非均匀膜系理论设计宽角度多层减反射薄膜的方法,从理论上分析了在宽角度情况下,偏振光产生透过率不同的原因。选取了Ta2O5和SiO2两种材料作为折射率材料,选取BK7作为基底材料模拟设计了光谱区在600～700nm波段、入射角为0°～80°之间的宽角度多层减反射薄膜,探索出了一条新型膜系设计的途径,其优化结果是较为理想的。图1参20（于晓光）

宽角度入射700nm～800nm波段减反射薄膜的研究

阐述了利用非均匀膜系理论设计宽角度减反射薄膜的方法,从理论上分析了在宽角度的情况下,偏振产生透过率不同的原因,模拟设计了光谱区在700nm～800nm波段、入射角为0°～80°之间的宽角度减反射薄膜,从优化结果来看是较为理想的膜系,进而探索出了一条新型膜系设计的途径。这一研究方法如能应用在太阳能、光纤通信、航天、激光等领域,将大大地提高光能的利用率,具有重要的应用价值。

红外增透膜研究

在8～12μm红外范围内Ge基底上设计和制备的一面宽带减反膜和一面介质＋DLC膜。薄膜材料Ge、ZnS和YF3由电子束沉积法制得，DLC膜由PEVCD制得。阐述了利用非均匀膜理论设计红外减反射薄膜的方法，所设计的红外减反射膜膜系优化结果较为理想。经过研究分析我们选择了氟化钇来进行此项研究并加以RF源（射频源）辅助镀膜，并用计算机修正来矫正真空镀膜法生产宽带增透膜时实验值与理论值存在的偏差。取得了良好的效果。用沈科仪镀膜机采用PECVD镀制DLC膜方面的也有很好的效果。

宽角度入射400～700nm波段减反射薄膜的研究

利用非均匀膜系理论设计宽角度多层减反射薄膜的方法,从理论分析了宽角度情况下的偏振光产生透过率不同的原因,选取了MgF2、HfO2和TiO23种材料作为折射率材料,选取BK7作为基底材料,模拟设计了光谱区在400～700nm波段、入射角为0～70°的多层减反射薄膜,其P光和S光透过率达90%以上。

宽角度入射600～700nm波段减反射薄膜的研究

阐述了利用非均匀膜系理论设计宽角度多层减反射薄膜的方法 ,从理论上分析了在宽角度的情况下 ,偏振光产生透过率不同的原因 ,选取了Ta2 O5和SiO2 两种材料作为折射率材料 ,选取BK7作为基底材料模拟设计了光谱区在 6 0 0～ 70 0nm波段、入射角为 0°～ 80°之间的宽角度多层减反射薄膜 ,探索出了一条新型膜系设计的途径 ,其优化结果是较为理想的。这一研究方法如能在太阳能、光纤通信、航天、激光等领域应用 ,将大大地提高光能的利用率 ,具有重要的应用价值。