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特殊整流罩窗口的非对称像差研究 被引量:2
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作者 程德文 常军 +1 位作者 徐况 王涌天 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第z1期362-365,368,共5页
分析了居中球形整流罩的波像差和偏心球形整流罩的波像差。为了分析共形整流罩的一般像差特性,建立了不同类型的整流罩模型,重点分析了像散和彗差,讨论了一阶和五阶像差,并与球形整流罩和偏心球形整流罩的相应像差做了比较。分析了长宽... 分析了居中球形整流罩的波像差和偏心球形整流罩的波像差。为了分析共形整流罩的一般像差特性,建立了不同类型的整流罩模型,重点分析了像散和彗差,讨论了一阶和五阶像差,并与球形整流罩和偏心球形整流罩的相应像差做了比较。分析了长宽比、边缘厚度与顶点厚度比对像差的影响。 展开更多
关键词 共形窗口 非对称像差 泽尔尼克系数
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