用于数字光刻的非对称式投影物镜设计

针对DMD数字光刻,利用ZEMAX光学设计软件,设计出了一套适用于型号0.7XGA DMD的10片式光刻投影物镜。该物镜采用非对称性结构,前组为改进的三分离物镜,后组为匹兹伐物镜加平像场镜,分辨率为2μm,近轴放大倍率为-0.15,像方数值孔径NA为0.158,全视场波像差小于λ/20,畸变小于0.014%,焦深为20μm,通过各项评价可知系统已经达到了衍射极限。在对该镜头进行公差分析后,利用Monte Carlo方法,模拟组装加工了100组镜头,得到90%的镜头MTF>0.46,50%的镜头MTF>0.51,证明了这种非对称性结构加工和校装的可能性。

非对称高回退宽带Doherty功率放大器实验研究

在传统Doherty功率放大器基础上,提出了一种新的非对称式结构,通过在Doherty功放负载调制网络中减小λ/4传输线的阻抗变换比和增加两段短路微带线抑制阻抗漂移来扩展带宽。使用GaN HEMT器件设计并制作了一款工作于1.6~2.2GHz的Doherty功放。仿真与实验结果表明,该功率放大器饱和输出功率大于43.5dBm,饱和漏极效率保持在56%以上,且饱和输出功率回退6dB后漏极效率大于42%,回退9dB时漏极效率在36.5%~46.5%之间,未使用线性化技术的ACPR优于-25dBc。

航空发动机动态姿态仿真测试台架设计

为了更真实全面地仿真航空发动机的使用状态,研制了一种用于小型航空发动机整机动态姿态仿真测试的台架。该台架具有横滚和俯仰2个自由度,可提供位置、速率及摇摆等功能,采用伺服电机带动齿轮组件和蜗轮蜗杆进行驱动,并具备排气装置。设计结果表明:动态姿态模拟转台速度可达30°/s,加速度可达50°/s^(2),运动范围为±175°,定位精度实测优于±0.12°;可以任何位置为中心做正弦、梯形、三角波等形式的运动。该设备的研制可进一步提高地面试验的仿真精度,有利于发动机检测技术的发展。