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积分棒在步进扫描投影光刻系统中的应用 被引量：9
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作者 郭立萍 黄惠杰 王向朝 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期981-985,共5页
从几何光学角度讨论了积分棒的匀光原理,介绍了积分棒在步进扫描投影光刻系统中的应用·分析了积分棒入射光束的数值孔径对刀口狭缝面上光强分布的影响,得到了积分棒尺寸与刀口狭缝面上照明视场的关系,为步进扫描投影光刻系统中积... 从几何光学角度讨论了积分棒的匀光原理,介绍了积分棒在步进扫描投影光刻系统中的应用·分析了积分棒入射光束的数值孔径对刀口狭缝面上光强分布的影响,得到了积分棒尺寸与刀口狭缝面上照明视场的关系,为步进扫描投影光刻系统中积分棒的设计提供了依据· 展开更多
关键词 光刻 照明均匀性 非序列光学元件 积分棒
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