用莫尔测偏法在线快速检测非球表面形貌

介绍了非球表面三维形貌检测技术的新方法———相移莫尔测偏法的测量原理、图像评价方法和测量装置。详细说明了测量装置的光路和相移器的设计原理及方法 ,对测量误差的来源进行了分析。为了检验该技术测量非球表面的精度、速度和稳定性 ,用干涉法对同一非球表面进行了光学测量比较。实验结果表明 ,该技术是一种测量精度高、抗干扰能力强、稳定性高且速度快的在线检测方法。