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低噪声原子力显微镜测量单元设计 被引量:9
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作者 许军 金晨 +8 位作者 牛刘敏 董诚 王慧云 王旭东 董震 孔融智 秦丽 温焕飞 马宗敏 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第2期138-143,共6页
为进一步提高大气下非接触式原子力显微镜(NC-AFM)表征样品形貌的分辨率及纵向检测灵敏度,本文提出了一种基于光偏转检测方法的新型非接触式噪声溯源抑制模型及多级隔振的机械振动噪声主动隔振装置。通过多源噪声抑制系统的设计,实现了... 为进一步提高大气下非接触式原子力显微镜(NC-AFM)表征样品形貌的分辨率及纵向检测灵敏度,本文提出了一种基于光偏转检测方法的新型非接触式噪声溯源抑制模型及多级隔振的机械振动噪声主动隔振装置。通过多源噪声抑制系统的设计,实现了实验环境下传递到实验装置的高低频振动由69 nm有效的衰减至0.03 nm以下。结合光偏转理论,系统在大气下的探针检测灵敏度为156.4 mV·nm^(-1)、电压偏转噪声密度为2.24μV/√Hz、偏转噪声密度达到了17.72 fm/√Hz。系统噪声得到有效的抑制,为进一步实验奠定了基础。 展开更多
关键词 接触式原子力显微镜(nc-afm) 光偏转检测 噪声溯源抑制 主动隔振 低噪声
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可调谐探针起振系统设计
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作者 温阳 陈纵横 +2 位作者 冯婕 舒鹏丽 马宗敏 《国外电子测量技术》 北大核心 2023年第4期80-85,共6页
为了兼顾非接触式原子力显微镜(noncontact atomic force microscope,NC-AFM)更高谐振频率探针的使用需求,并通过提高控制器精度进而提高NC-AFM分辨率,提出了一种基于探针-样品间原子作用力变化的全数字可调谐NC-AFM高分辨率探针起振系... 为了兼顾非接触式原子力显微镜(noncontact atomic force microscope,NC-AFM)更高谐振频率探针的使用需求,并通过提高控制器精度进而提高NC-AFM分辨率,提出了一种基于探针-样品间原子作用力变化的全数字可调谐NC-AFM高分辨率探针起振系统。在Simulink环境下对探针起振系统的控制部分进行了设计,通过现场可编程门阵列(FPGA)实现了鉴相,滤波,锁频等功能;采用压电陶瓷片驱动探针振动,设计了操作便捷的探针座。将不同频率正弦信号提供给设计的起振系统进行功能性验证,实验结果表明,系统可以在20 kHz~50 MHz频率范围内跟踪探针谐振频率;最后使用起振系统成功使商用探针在谐振频率处振动,准确测出了探针的谐振频率及振动幅值,系统频率分辨率达到了0.1 Hz。 展开更多
关键词 接触式原子力显微镜(nc-afm) 起振 谐振频率 数字锁相环 压电陶瓷
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高灵敏低噪声光束偏转检测系统设计 被引量:6
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作者 曲章 武兴盛 +1 位作者 魏久焱 马宗敏 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第5期359-365,370,共8页
为了进一步提高自制超高真空室温非接触式原子力显微镜(NC-AFM)的检测灵敏度和获得材料表面更高分辨率的原子图像,在比较了原子力显微镜探针振动位移检测的三种方法的基础上,重点研究了光束偏转检测方法,理论上分析了这种方法的偏转... 为了进一步提高自制超高真空室温非接触式原子力显微镜(NC-AFM)的检测灵敏度和获得材料表面更高分辨率的原子图像,在比较了原子力显微镜探针振动位移检测的三种方法的基础上,重点研究了光束偏转检测方法,理论上分析了这种方法的偏转检测灵敏度与噪声。设计了一个高灵敏度、低噪声的光束偏转检测系统,该系统的激光光斑能够高精度地聚焦在悬臂上,能容易、直观地对准激光光路,并高效地检测到悬臂的振动和探针的共振频率。通过实验,验证了准直激光的质量及光路的对准,并利用该系统在超高真空非接触式原子力显微系统中进行探针振动实验,得到了探针的共振频率为161.736 8 kHz,通过计算得到探针共振的品质因数为12 939,说明系统具有高灵敏度和低噪声的性能。有望在进一步提高原子力显微镜分辨率方面得到应用。 展开更多
关键词 光学测量 接触式原子力显微镜(nc-afm) 光束偏转检测 高灵敏度 低噪声 共振频率
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表/界面水的扫描探针技术研究进展 被引量:2
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作者 尤思凡 孙鲁晔 +2 位作者 郭静 裘晓辉 江颖 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期123-144,共22页
表面和界面水在自然界、人们的日常生活以及现代科技中无处不在.它在物理、化学、环境学、材料学、生物学、地质学等诸多基础学科和应用领域起到至关重要的作用.因此,表面和界面水的功能与特性的研究,是水基础科学的一项核心任务.然而,... 表面和界面水在自然界、人们的日常生活以及现代科技中无处不在.它在物理、化学、环境学、材料学、生物学、地质学等诸多基础学科和应用领域起到至关重要的作用.因此,表面和界面水的功能与特性的研究,是水基础科学的一项核心任务.然而,由于水分子之间氢键相互作用的复杂性,及其与水-固界面相互作用的竞争,使得表(界)面水对于局域环境的影响非常敏感,往往需要深入到分子层次研究其微观结构和动力学过程.近年来,新型扫描探针技术的发展使得人们可以在单分子甚至亚分子尺度上对表(界)面水展开细致的实空间研究.本文着重介绍几种代表性的扫描探针技术及其在表(界)面水体系中的应用,包括:超高真空扫描隧道显微术、单分子振动谱技术、电化学扫描隧道显微术和非接触式原子力显微术.此外,本文还将对表(界)面水扫描探针技术研究面临的挑战和未来发展方向进行了展望. 展开更多
关键词 表/界面水 扫描隧道显微镜 接触式原子力显微镜 单分子振动谱
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基于AFM探针的电晕放电研究
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作者 赵贵 孔德义 +3 位作者 Juergen Brugger 陈池来 程玉鹏 李庄 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第11期28-30,34,共4页
针对扫描探针显微镜与质谱联用系统中的采样方式,提出了利用原子力显微镜(AFM)探针进行电晕放电解吸附的采样方案。运用ANSYS软件对AFM导电探针进行了有限元仿真,电场分析表明间距100μm加1 kV高压时的AFM探针周围场强在0.32~62.4 V/μ... 针对扫描探针显微镜与质谱联用系统中的采样方式,提出了利用原子力显微镜(AFM)探针进行电晕放电解吸附的采样方案。运用ANSYS软件对AFM导电探针进行了有限元仿真,电场分析表明间距100μm加1 kV高压时的AFM探针周围场强在0.32~62.4 V/μm间,验证了利用其产生电晕放电的可行性;通过实验观察了电晕放电现象及其规律,测得了AFM探针加高压时的伏安特性曲线,为下一步利用AFM探针产生电晕放电进行非触式采样奠定了良好的基础。 展开更多
关键词 原子力显微镜探针 电晕放电 微机电系统 ANSYS 接触式采样
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氧化铝薄膜的制备与结构缺陷研究
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作者 尚璐瑶 杨晓峰 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第9期4-7,15,共5页
阐述了氧化铝(AlO)薄膜4层结构与台阶结构,同时提出了薄膜中含有的2种缺陷结构。通过Ar~+溅射和退火获得氧化铝薄膜,基于超高真空非接触式调频原子力显微镜(UHV-NC-FM-AFM)测试技术,对所制作的氧化铝薄膜进行表征研究。通过对氧化铝薄... 阐述了氧化铝(AlO)薄膜4层结构与台阶结构,同时提出了薄膜中含有的2种缺陷结构。通过Ar~+溅射和退火获得氧化铝薄膜,基于超高真空非接触式调频原子力显微镜(UHV-NC-FM-AFM)测试技术,对所制作的氧化铝薄膜进行表征研究。通过对氧化铝薄膜构造与缺陷建模,结合实验分析,验证了薄膜结构和缺陷理论。缺陷结构高度为(50±20)pm,氧化铝薄膜台阶的高度约200 pm,薄膜周期结构与DFT计算理论模型中单元的大小基本一致,实验结果与理论值基本吻合,为后期蒸镀钯(Pd)实验奠定了基础。 展开更多
关键词 氧化铝薄膜 超高真空接触式调频原子力显微镜 缺陷理论
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Orientation of molecular interface dipole on metal surface investigated by noncontact atomic force microscopy 被引量:2
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作者 YUAN BingKai CHEN PengCheng +3 位作者 ZHANG Jun CHENG ZhiHai QIU XiaoHui WANG Chen 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 2013年第30期3630-3635,共6页
We investigated the orientations of interface dipole moments of individual non-planar titanyl phthalocyanine(TiOPc)molecules on Cu(111)and Cu(100)substrates using scanning tunneling microscope(STM)and noncontact atomi... We investigated the orientations of interface dipole moments of individual non-planar titanyl phthalocyanine(TiOPc)molecules on Cu(111)and Cu(100)substrates using scanning tunneling microscope(STM)and noncontact atomic force microscope(NC-AFM).The dipole moment orientations corresponding to two different configurations of individual TiOPc molecules were determined unambiguously.The correlation between the actual molecular structures and the corresponding STM topographies is proposed based on the sub-molecular resolution imaging and local contact potential difference(LCPD)measurements.Comparing with the pristine substrate,the LCPD shift due to the adsorption of non-planar molecule is dependent on the permanent molecular dipole,the charge transfer between the surface and the molecule,and the molecular configurations.This work would shed light on tailoring interfacial electronic properties and controlling local physical properties via polar molecule adsorption. 展开更多
关键词 原子力显微镜 分子结构 接触式 金属表面 偶极子 界面 CU(100) CU(111)
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水的核量子效应研究进展
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作者 郭静 江颖 《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第14期1332-1347,共16页
"水的结构是什么"这是Science杂志在创刊125周年的特刊中提出的21世纪125个亟待解决的科学前沿问题之一.水的结构之所以如此复杂,其中一个很重要的原因就是源于水分子之间的氢键相互作用.人们通常认为氢键的本质为经典的静电... "水的结构是什么"这是Science杂志在创刊125周年的特刊中提出的21世纪125个亟待解决的科学前沿问题之一.水的结构之所以如此复杂,其中一个很重要的原因就是源于水分子之间的氢键相互作用.人们通常认为氢键的本质为经典的静电相互作用,然而由于氢原子核质量很小,其量子效应在室温下都会非常明显,氢核的量子隧穿和量子涨落将减弱经典势垒对氢原子的限制,从而增强或减弱氢键相互作用强度,改变氢键网络构型,甚至影响氢键体系的宏观物性.该综述首先概述了核量子效应的起因和表现,然后介绍核量子效应研究的传统实验手段,以及新兴的基于扫描隧道显微镜和非接触式原子力显微镜的高分辨成像和谱学技术.然后,本文总结了水中氢核量子隧穿和量子涨落的最新研究进展,尤其是深入到原子尺度的核量子效应研究,最后对核量子效应研究所面临的问题和挑战以及未来发展方向进行评述. 展开更多
关键词 氢键 核量子效应 扫描隧道显微镜 接触式原子力显微镜
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