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题名非接触式电容压力传感器敏感元件的设计及性能分析
被引量:6
- 1
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作者
尚永红
李艳秋
于红云
孙红光
苏波
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机构
中国科学院电工研究所
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期276-279,共4页
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基金
国家自然科学基金项目资助(50677068)
国家高技术研究发展计划863项目资助(2006AA04Z345)
教育部长江学者和创新研究团队计划项目资助(PCSIRT)
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文摘
将中心岛膜结构的压力敏感膜用在非接触式电容式压力传感器中,解决了平膜结构带来的各点挠度不同、非线性和需要后续补偿电路的问题。通过对材料为多晶硅的中心岛膜进行结构优化设计和挠度、应力等力学性能分析。计算了在不同外加压力条件下压力敏感膜的电容数值、灵敏度和线性度。根据优化设计,外加压力在0.2~1.4×10^5Pa间变化时,电容值在0.0251~0.0281pF间变化;通过分析两种结构敏感膜在XY面内同一位置与中心挠度差的变化率,中心岛膜结构的变化率为49.4%低于平膜结构1.7%。因而中心岛膜结构比平膜结构有更好的灵敏度和线性。
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关键词
非接触式电容压力传感器
敏感元件
MEMS
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Keywords
untouched-mode capacitive pressure sensor
sensitivity diaphragm
MEMS
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名塑膜厚度在线检测系统的设计及应用
被引量:1
- 2
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作者
马玉真
叶声华
段发阶
郑义忠
王新华
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机构
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
济南大学机械工程学院
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2003年第7期23-25,共3页
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文摘
介绍了采用非接触式电容传感器、电涡流传感器组合系统获取检测信号 ,利用基于LabVIEW软件平台的计算机实现对塑料薄膜进行在线检测的工作原理 ,并对该检测系统的硬件设计、软件设计进行了详细地探讨。最后 ,给出了测试结果 ,证明了系统的可靠性与可行性。
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关键词
塑料薄膜
在线检测
非接触式电容传感器
电涡流传感器
LABVIEW
厚度检测
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Keywords
Film
Thickness
Combined Measurement
On line
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分类号
TH821.1
[机械工程—精密仪器及机械]
TP274
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名光纤激光切割机切割头关键技术及应用前景
被引量:3
- 3
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作者
蔡诚
朱鹏程
董香龙
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机构
江苏亚威机床股份有限公司
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出处
《锻压装备与制造技术》
2017年第3期45-48,共4页
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文摘
介绍了激光加工技术国内外现状,重点说明了光纤切割头的功能部件及关键技术,并指出了切割头的发展方向和应用前景。
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关键词
激光切割机
切割头
光纤
调焦
割嘴
非接触式电容传感器
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Keywords
Fiber laser cutting head
Adjustment of focal position
Adjustment of focal diameter
Nozzle
Non-contact capacitance sensor
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分类号
TG485
[金属学及工艺—焊接]
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题名基于物联网的无人守护输液监控系统
被引量:7
- 4
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作者
马龙
邓素碧
何铭
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机构
中兴通讯股份有限公司南京研发中心
西门子电力自动化有限公司
河北省工业和信息化发展研究院
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出处
《物联网技术》
2022年第3期38-41,共4页
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文摘
基于物联网的无人守护输液监控系统通过输液管监测模块实时监测输液管中的液体流动情况,并在微处理器上对液体流动数据进行处理,输液即将完成时输液管控制模块阻断输液。通过网络模块把液体流动数据传输到物联网平台进行存储,运行在智能终端的无人守护输液监控系统APP从物联网平台获取输液管中液体流动状态数据;当输液即将完成时,根据设置的报警方式进行报警。该系统减轻了患者和陪护人员的压力,降低了医护人员的工作强度,提高了医护设备的信息化程度。
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关键词
无人守护
输液监控系统
物联网平台
智能终端
微处理器
非接触式电容传感器
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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