不同湍流模型在旋流非接触搬运器仿真中的应用和对比

采用标准k-ε湍流模型,RNGk-ε湍流模型和雷诺应力(RSM)湍流模型,对旋流非接触搬运器进行数值仿真计算,得出3种模型的压力曲线、吸力曲线和流量值.通过计算结果与试验值对比得知,3种模型中RSM湍流模型的预报结果最为合理;RNGk-ε湍流模型的预报结果次之,在工程应用中该模型的误差可以接受;标准k-ε湍流模型的预报结果最差.因此,RSM湍流模型和RNGk-ε湍流模型可被用作搬运器研究的理论依据.

半导体及平板显示制造业中的空气非接触搬运技术

介绍了空气非接触搬运技术的优越性、发展现状及其在半导体器件和平板显示制造业中的应用,阐述了空气悬浮和吸浮式非接触技术的原理,讨论了空气非接触搬运技术中存在的关键问题及解决方案,分析了该技术的发展前景。

超声波非接触搬运机制的研究

介绍了弯曲振动板的振动使振动板表面产生声波场的原理。分析了近距离声波场中保持平衡的机制。针对无接触搬运所需要的浮力和平衡机制,进行了研究。研究结果表明,根据粘性理论计算浮动物体与振动板之间产生的音响流速分布,经过与实测结果进行比较,证明了声波场在近距离所产生的浮力可以使板状物体被飘浮;稳定的音响流的变化能够产生平衡力。这样,物体的非接触搬运就将成为现实。

非接触式搬运设备在液晶物流中的应用

介绍了在TFT-LCD液晶生产线中非接触式搬运设备的应用,说明了其技术原理和特点,并分析了非接触式搬运设备现状和发展前景。

旋回流非接触式气爪流场及吸附性能的数值分析

在构建旋回流非接触式气爪几何模型和控制方程的前提下,对气爪内部流场特征及影响其吸附性能的关键参数进行数值分析。结果表明:单进气口的气爪,负压中心与气爪的几何中心存在偏移,并且,在回旋流向下运动的同时,负压中心也会随之发生迁移;当气爪的几何参数、工作条件为定值时,存在最适宜的气膜间隙,可使负压值和吸附力达到峰值;双进气口的气爪比单进气口的气爪具备更好的吸附稳定性;在单进气口气爪的气室内增加螺纹式凹槽,可在一定程度上提高吸附稳定性。

多孔质气悬浮气膜压力特性建模及试验研究

为了研究多孔质气悬浮气膜压力特性以便对玻璃基板的非接触式搬运系统进行性能分析和优化设计,以具有代表性的区域单元为对象,建立包含多孔质特性和间隙流特性的气膜压力动态模型,利用有限体积法(FVM)进行求解.当多孔质表面空气薄膜受到工件的往复振动挤压时,压力响应相对间隙距离呈现明显的滞环现象,表现出弹性特性和阻尼特性.仿真和试验的结果表明,基于动态模型的计算结果与实验值吻合较好.气膜压力刚度系数随着间隙距离的减小而迅速增大,并受到供给流量与区域半径的影响.气膜压力阻尼系数受供给流量的影响甚小,受区域半径的影响显著,表明适当增加导轨宽度可以有效地加快工件自由振荡衰减速度.

旋回流气爪流场特征的数值分析

基于在旋回流气爪腔体内增设绕流柱的设计方案,采用数值方法分析气室内旋回流的形成、发展过程,进一步明确了气爪内部的流场特征、压力分布规律及其吸附原理。数值计算结果表明:增设绕流柱后,可改善气爪内部和被吸附工件表面的压力分布趋势,增加吸附力,提高吸附稳定性;提高供气量,会导致旋回流的流速增加,强度提高,负压程度和吸附力也相应增大。