接触非接触两用表面形貌测量仪器噪声标定分析方法

为了有效去除噪声在LI/WIVS型两用表面形貌测量仪器标定中对区域表面形貌测量结果的影响,利用平均法和相减法分析了该仪器在确定噪声数值上的优劣性。其分析结果表明:在相同情况下,接触式表面形貌测量仪的测量噪声大于非接触式表面形貌测量仪的测量噪声;当测量次数减少时,利用相减法来分析噪声比平均法更可靠;想获得精确的噪声值时,平均法优于相减法,但其所需的测量次数却大大增加。

表面三维形貌非接触测量的现状

文章首先指出表面形貌对机械、电子和光学系统的使用性能影响很大,尤其在现代产品生产中,精确可靠地测量表面形貌,日益成为控制和改进加工表面质量的必要条件。作者在对表面形貌的接触式测量方法进行了简要的评介之后,着重就非接触式表面形貌测量方法中主要应用的相移干涉显微镜和扫描隧道显微镜的测量原理和仪器结构作了介绍。

非接触式表面粗糙度测量仪

以散射光理论为基础，研制了非接触式表面粗糙度测量系统，该系统由ＣＣＤ传感器、光学系统和计算机系统构成，其优点是灵敏度高，测量范围宽、精度高，适合于不同加工方法形成的表面，可以实现实时、在线、动态检测和控制．

非接触表面轮廓测量仪的研制

本文研究了一种始终使得光学测头处于焦点位置,以正交衍射光栅干涉位移传感器为位移测量系统,以压电陶瓷作为驱动部件的非接触表面轮廓测量仪,用于实现对零件表面粗糙度,波度,表面形状误差和尺寸的综合测量。论文着重介绍了该仪器的整体结构,测量原理及衍射光栅干涉计量系统的工作原理。

飞机表面划痕非接触测量仪的研究

介绍了一种飞机表面划痕非接触测量仪。它以激光三角传感器为主要组成部件，并附以机械扫描装置，可完成被测飞机表面划痕的非接触测量。在分析了被测表面散、反射特性的基础上，给出了激光三角传感器正确放置方式，并提出改善测量精度的传感器姿态调整法。针对浅划痕测量时噪声较大的特点，提出利用子波分析的方法突出被测划痕形貌的信号处理方法，实验表明了此方法的可行性。本测量仪具有非接触测量、测量范围大、精度高、结构简单、成本较低的特点。

一种新型轴承滚动体表面粗糙度非接触式测量仪的研制

本文介绍一种基于激光在粗糙表面散射原理的轴承滚动体表面粗糙度测量仪。散射光分布信号通过线阵CCD 接收,然后由微机进行处理。仪器采用会聚球面波作为入射光波,成功地解决了小曲率半径表面((?)3～(?)6mm)的粗糙度测量问题。试验研究表明,该仪器结构简单,操作方便,对环境要求不高,精度能满足生产实际的需要,适合于生产现场附近进行快速、无损检测。

非接触高准确度表面粗糙度测量仪

本文介绍一种具有纳米级测量准确度的非接触光探针扫描轮廓仪，其分辨力为１ｎｍ，量程１０μｍ。

表面粗糙度非接触测量仪

介绍一种对机械振动等环境干扰不敏感的表面粗糙度非接触测量仪,在不采取任何隔振措施的一般实验室环境中,就能以优于1nm的测量精度对各种精密加工表面的粗糙度参数进行测量,可显示并打印表面二维轮廓曲线,三维形貌图,以及立体感很强的表面微分干涉图象。

一种非接触式表面形貌测量系统的研究

介绍了一种非接触式的表面三维形貌测量系统，该系统采用了光学离焦原理中的象散法．从激光束光学中简洁的ＡＢＣＤ定律出发，分析并获得了系统的特性曲线，这比采用几何光学方法得到的结果更接近实际情况．在±５μｍ的线性范围内，系统的噪声在±６ｎｍ范围内．通过对几种标准样板的实测，得到了与实际相符的结果．最后给出了表面三维形貌的测量结果．

表面形貌的全息式非接触光学测量方法

讨论了关于表面形貌的一种全息式非接触光学测量新方法．此方法采用全息光学元件ＨＯＥ替代普通光学元件，作为离焦检测元件，提高了测量精度和范围．

非接触光学测头在金属强反射表面测量中的应用

强反射表面的高精度金属件和光学件的表面轮廓测量,是形貌检测领域的一个难点.文中提出了一种用于逆向工程领域的自由曲面非接触测量系统,其由三坐标测量机和主动式双目视觉形貌测头组成.通过摄像机标定了视觉测头,利用光学偏振技术消除了金属表面强反射光对测量的干扰.对扫描路径进行了规划,并根据金属表面加工纹理方向,选择采样策略.通过对量块表面的测量,验证了使用非接触方法测量金属强反射表面的可行性.研制测头的精度达到了0.05mm.

光针式三维表面形貌测量仪的研制

研制了一种基于动态聚焦探测法的新型光针式三维表面形貌测量仪,该仪器可实现表面三维形貌的快速、无损、非接触测量。介绍了该仪器的测量原理、仪器结构、伺服机构的设计并给出了实测结果。仪器垂直测量范围为500μm;垂直方向测量精度可达0·5μm,分辨率为0·01μm。

一种非接触式三维形貌测量系统的设计与应用

根据投影栅相位法的基本原理 ,设计一套包括系统标定、数据采集、三维测量和结果显示等功能的非接触式三维形貌测量系统。与其他测量系统相比 ,该系统的数据采集过程只需 0 5s完成 ,减少了外界环境和物体本身对测量结果的影响 ;该系统还可以实现物体表面任意两点的空间直线段测量、体积测量和表面积测量 。

新型两用表面形貌测量仪的研究与开发

开发了一种大量程、高分辨率、非接触式与接触式测量两用的新型表面形貌测量仪器。仪器本体为非接触测量轮廓仪,通过插入接触式测头实现接触测量。非接触式测头采用傅科法自动聚焦原理,接触式测量采用微恒力电感测量原理,它们共用一个音圈电机,各自跟踪电气零位,实现大量程、高分辨率的位移测量。文中还介绍了仪器采用的共运动基面二维工作台。

表面糙粗度激光非接触测量的新技术

1 前言 表面粗糙度,是评定机器或仪器零件表面质量的重要指标.它不仅影响着零件的耐磨性、强度和耐腐蚀性,也影响设备的工作精度,使用性能,动力消耗.噪音以及寿命。非接触表面形貌测量,对被测表面既无损伤又无形变;并且对从玻璃流体到金属表面、特别是对于薄塑材料和橡胶表面的测量,更是独具优点。

激光三角法测量表面形貌

对激光三角测量法应用于表面形貌的检测进行研究.通过分析激光三角测量的基本原理,得出光路设计条件与输入输出关系.分析了几种激光三角测量的改进方法的优点、局限与适用范围.讨论了激光三角测量中影响分辨率与精度的几个因素并提出应对的措施.

非接触表面形状测量的新方法

1 前言在当今产品不断追求小型高精度化的产业界,制造精度管理,产品质量管理也要求提高。表面形状的测量方式从以往的干涉式、三角测量式、动态焦点式以及被采用的动态范围大的对物体进行观察立体显微方式。市场迫切要求能替代这些方式的高精度高可靠性且廉价的测量方式。

尼康发布可实现5um精度的非接触式三维测量仪

日本尼康将上市最大球间距允许误差（ES，MPE）为5um的高精度非接触式三维测量仪“HN-6060”。配备新开发的多光学传感器及5轴同步控制系统，可对形状复杂的部件一次进行包括表面波纹在内的全部高精度测量。