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高温合金上AlON/Al2O3复合绝缘层的制备及绝缘性能研究
被引量:
1
1
作者
林泽伦
马亚平
+2 位作者
谷士鹏
王巍
赵晓辉
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第1期6-10,共5页
为了提高镍基高温合金基底的高温电绝缘性能,改善航空发动机工作过程中温度传感器的可靠性问题,采用直流反应溅射的方法溅射非晶AlON薄膜,将电子束蒸发沉积的Al2O3薄膜作为保护层,制备了AlON/Al2O3复合绝缘层。通过XRD、SEM表征对制备...
为了提高镍基高温合金基底的高温电绝缘性能,改善航空发动机工作过程中温度传感器的可靠性问题,采用直流反应溅射的方法溅射非晶AlON薄膜,将电子束蒸发沉积的Al2O3薄膜作为保护层,制备了AlON/Al2O3复合绝缘层。通过XRD、SEM表征对制备的非晶AlON薄膜进行微结构分析,并对AlON/Al2O3复合绝缘层进行高温绝缘性能测试。结果显示,制备的复合绝缘层具有良好的高温绝缘性,800℃时绝缘电阻达到5.6 MΩ,1000℃达到140 kΩ,相对于单一Al2O3绝缘层的绝缘电阻提升了三个数量级。复合绝缘层制备在溅射过程中一次性完成,显著提升了绝缘层的质量和制备效率,为与高温合金衬底一体化集成的薄膜热电偶可靠工作奠定了基础。
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关键词
高温绝缘
高温合金衬底
非晶alon
复合绝缘层
反应溅射
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职称材料
题名
高温合金上AlON/Al2O3复合绝缘层的制备及绝缘性能研究
被引量:
1
1
作者
林泽伦
马亚平
谷士鹏
王巍
赵晓辉
机构
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
中国飞行试验研究院
出处
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第1期6-10,共5页
基金
国家自然科学基金(91860117)
十三五装备预研共用技术和领域基金(41403020203)。
文摘
为了提高镍基高温合金基底的高温电绝缘性能,改善航空发动机工作过程中温度传感器的可靠性问题,采用直流反应溅射的方法溅射非晶AlON薄膜,将电子束蒸发沉积的Al2O3薄膜作为保护层,制备了AlON/Al2O3复合绝缘层。通过XRD、SEM表征对制备的非晶AlON薄膜进行微结构分析,并对AlON/Al2O3复合绝缘层进行高温绝缘性能测试。结果显示,制备的复合绝缘层具有良好的高温绝缘性,800℃时绝缘电阻达到5.6 MΩ,1000℃达到140 kΩ,相对于单一Al2O3绝缘层的绝缘电阻提升了三个数量级。复合绝缘层制备在溅射过程中一次性完成,显著提升了绝缘层的质量和制备效率,为与高温合金衬底一体化集成的薄膜热电偶可靠工作奠定了基础。
关键词
高温绝缘
高温合金衬底
非晶alon
复合绝缘层
反应溅射
Keywords
high-temperature insulation
super alloy substrate
amorphous
alon
composite coating
reactive sputtering
分类号
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
高温合金上AlON/Al2O3复合绝缘层的制备及绝缘性能研究
林泽伦
马亚平
谷士鹏
王巍
赵晓辉
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
2021
1
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职称材料
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