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硅基红外探测器的研究进展 被引量：1
1
作者 杨红卫 吴实 《物理与工程》 2002年第3期39-41,58,共4页
由于易与读出电路集成在一起 ,硅基红外探测器成为一研究热点 .文章评述了近年来取得较大进展的几种硅基红外探测器 ,主要包括非本征硅 ,GexSi1-x/Si异质结 ,PtSi及Si基HgCdTe红外探测器件 .
关键词 硅基红外探测器 阵列 非本征硅 异质结 发展
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