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金属栅功函数变异对纳米MOSFET模拟/射频性能影响的统计分析 被引量:1
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作者 薛佳帆 戴良 +1 位作者 陈霖凯 吕伟锋 《计算机辅助设计与图形学学报》 EI CSCD 北大核心 2018年第11期2159-2163,共5页
当集成电路技术进入到纳米尺度,金属栅极上分布的晶粒显著减少,功函数变异(WFV)对MOSFET器件和电路性能产生重要的影响.文中通过偏差反向传播(POV)方法将功函数变异解析为平带电压标准差,建立22nm NMOS器件模拟/射频性能的统计分析,这... 当集成电路技术进入到纳米尺度,金属栅极上分布的晶粒显著减少,功函数变异(WFV)对MOSFET器件和电路性能产生重要的影响.文中通过偏差反向传播(POV)方法将功函数变异解析为平带电压标准差,建立22nm NMOS器件模拟/射频性能的统计分析,这些性能参数包括栅电容、跨导、截止频率和跨导效率.经HSPICE仿真分析结果表明:上述参数均受WFV影响产生随机波动现象,且参数变化相对标准偏差对栅电压非常敏感;从统计分布看,模拟/射频性能参数受WFV影响均偏离正态分布,但其概率统计特性却各有差异. 展开更多
关键词 纳米NMOS器件 功函数变异 模拟/射频性能 非正态统计分布
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