光学探测器非线性度测试仪的研制

本文介绍了一种高精度的硅光电探测器线性度测量系统 ,给出了该系统的原理、结构和测量方法 ,分析了测量不确定度及适用范围 ,该系统可应用于精度要求高的光学探测器线性度的测量。