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基于Linnik型白光显微干涉光谱测量方法
被引量:
3
1
作者
郭彤
周勇
+3 位作者
李明惠
吴菊红
傅星
胡小唐
《纳米技术与精密工程》
CSCD
北大核心
2017年第5期360-365,共6页
针对在复杂测量环境下实现薄膜类样品的高精度测量需求,基于白光干涉光谱测量理论,搭建了Linnik型白光显微干涉光谱测量系统,该系统具有较长的工作距离.系统采用5步相移算法实现相位信息的精确提取,通过对绝对距离以及标准薄膜样品的测...
针对在复杂测量环境下实现薄膜类样品的高精度测量需求,基于白光干涉光谱测量理论,搭建了Linnik型白光显微干涉光谱测量系统,该系统具有较长的工作距离.系统采用5步相移算法实现相位信息的精确提取,通过对绝对距离以及标准薄膜样品的测试,验证了方法的可行性,并在此基础上利用系统实现了对微结构表面形貌和不同材料薄膜厚度的纳米级精度测量.
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关键词
Lirmik型
白光干涉光谱
薄膜
非线性相位修正
下载PDF
职称材料
题名
基于Linnik型白光显微干涉光谱测量方法
被引量:
3
1
作者
郭彤
周勇
李明惠
吴菊红
傅星
胡小唐
机构
精密测试技术及仪器国家重点实验室(天津大学)
出处
《纳米技术与精密工程》
CSCD
北大核心
2017年第5期360-365,共6页
基金
国家重点研发计划重点资助项目(2017YFF0105905)
文摘
针对在复杂测量环境下实现薄膜类样品的高精度测量需求,基于白光干涉光谱测量理论,搭建了Linnik型白光显微干涉光谱测量系统,该系统具有较长的工作距离.系统采用5步相移算法实现相位信息的精确提取,通过对绝对距离以及标准薄膜样品的测试,验证了方法的可行性,并在此基础上利用系统实现了对微结构表面形貌和不同材料薄膜厚度的纳米级精度测量.
关键词
Lirmik型
白光干涉光谱
薄膜
非线性相位修正
Keywords
Linnik type
white light interference spectra
thin film
nonlinear phase correction
分类号
O657.3 [理学—分析化学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于Linnik型白光显微干涉光谱测量方法
郭彤
周勇
李明惠
吴菊红
傅星
胡小唐
《纳米技术与精密工程》
CSCD
北大核心
2017
3
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职称材料
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