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静电力非线性对双检测微陀螺谐振频率及灵敏度稳定性的影响 被引量:2
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作者 郝淑英 李伟雄 +3 位作者 李会杰 张琪昌 冯晶晶 张昆鹏 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2020年第8期136-142,共7页
为探究如何避免静电力非线性的影响或利用高电压下的静电力非线性和微梁几何非线性对冲以实现高稳定性和高灵敏度微陀螺的设计。考虑边缘效应下的静电力非线性和刚度立方非线性同时存在时,结构参数对双检测微陀螺动力学性能的影响规律;... 为探究如何避免静电力非线性的影响或利用高电压下的静电力非线性和微梁几何非线性对冲以实现高稳定性和高灵敏度微陀螺的设计。考虑边缘效应下的静电力非线性和刚度立方非线性同时存在时,结构参数对双检测微陀螺动力学性能的影响规律;研究表明,梳齿未交叠长度越小,直流偏置电压越大,则共振频率偏移量越大,静电力的软化效果也越显著;梳齿未交叠长度存在一阀值,大于此值时静电力非线性弱化为零且对幅值的影响存在饱和现象,利用此特性可保持灵敏度的稳定性。通过微梁几何非线性的设计和控制调节驱动刚度非线性导致的硬化特性来平衡静电力带来的软化特征,使幅频曲线呈现理想的线性状态,避免了因硬化、软化特性造成的频率失稳和振幅跳跃现象的发生,同时也获得了较高的灵敏度和稳定性。 展开更多
关键词 边缘效应 静电力非线性 刚度立方非线性 双检测微陀螺 灵敏度
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刚度及静电力非线性对多自由度微陀螺静态特性影响 被引量:3
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作者 何赢男 郝淑英 +2 位作者 宋宇昊 张琪昌 刘君 《天津理工大学学报》 2021年第2期1-4,共4页
为揭示静电力非线性及刚度非线性综合作用下多自由度微陀螺的静态特性,以一类四自由度静电驱动微机械陀螺为研究对象,用Hamilton原理分析了微陀螺在静电力及刚度非线性综合作用下的静态性.系统静态特性对偏置电压的敏感性随着刚度非线... 为揭示静电力非线性及刚度非线性综合作用下多自由度微陀螺的静态特性,以一类四自由度静电驱动微机械陀螺为研究对象,用Hamilton原理分析了微陀螺在静电力及刚度非线性综合作用下的静态性.系统静态特性对偏置电压的敏感性随着刚度非线性的加强而增加,随着直流偏置电压的增大,非零非稳定平衡点逐渐向零稳定平衡点靠近,同速轨道消失异速轨道转化为同速轨道,当直流偏置电压超过某一临界值时整个相空间中均为不稳定流形,吸合行为发生. 展开更多
关键词 微陀螺 多自由度 静电力非线性
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载体加速度对静电驱动微机械陀螺响应的影响分析 被引量:2
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作者 张利娟 张华彪 +2 位作者 李欣业 王雅雪 于涛 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2021年第5期55-62,共8页
载体的运动会导致微机械陀螺的响应发生变化,因而引起测量误差,甚至导致系统故障。针对载体运动对微机械陀螺响应的影响开展研究。考虑载体运动以及微陀螺的非线性支承刚度和非线性静电力,基于拉格朗日方程建立了系统的动力学方程。利... 载体的运动会导致微机械陀螺的响应发生变化,因而引起测量误差,甚至导致系统故障。针对载体运动对微机械陀螺响应的影响开展研究。考虑载体运动以及微陀螺的非线性支承刚度和非线性静电力,基于拉格朗日方程建立了系统的动力学方程。利用谐波平衡法结合留数定理求解了含分式非线性项的系统的周期响应,研究了载体加速度对系统响应特性的影响,发现驱动方向的载体加速度主要导致系统的灵敏度降低。检测方向的载体加速度除使得系统灵敏度降低,还会导致零偏,且零偏和加速度的大小成正比,但比例系数与驱动电压无关。驱动电压较小时,载体在检测方向较小的加速度对灵敏度和非线性度影响很小;而在驱动电压或者检测方向加速度较大时,系统的灵敏度急剧下降,且非线性度也发生了剧烈变化。 展开更多
关键词 微机械陀螺 载体加速度 刚度非线性 非线性静电力 周期响应
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结构参数对静电驱动微机械陀螺动态性能的影响 被引量:1
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作者 李欣业 王雅雪 +2 位作者 张华彪 张利娟 于涛 《应用数学和力学》 CSCD 北大核心 2021年第12期1248-1257,共10页
为研究结构参数对静电驱动微机械陀螺动态性能的影响,考虑支承刚度的三次非线性和静电力的分式非线性,基于两自由度动力学模型,利用谐波平衡法结合留数定理求解了系统的周期响应,得到了驱动电极的梳齿厚度、梳齿间隙以及检测电极的极板... 为研究结构参数对静电驱动微机械陀螺动态性能的影响,考虑支承刚度的三次非线性和静电力的分式非线性,基于两自由度动力学模型,利用谐波平衡法结合留数定理求解了系统的周期响应,得到了驱动电极的梳齿厚度、梳齿间隙以及检测电极的极板面积、极板间隙变化时电容变化量随驱动力频率和载体角速度的变化曲线,以及电容灵敏度和非线性度随这些参数的变化曲线.结果表明,检测电容变化量随驱动力频率的变化曲线会呈现明显的非线性特征,即第二个峰向右倾斜,从而引起跳跃现象.驱动电极的梳齿厚度、梳齿间隙和检测电极的极板间隙对检测电容变化量随载体角速度的变化影响较大,而检测电极的极板面积的影响很小.驱动电极梳齿厚度、梳齿间隙以及检测电极的极板面积对电容灵敏度和非线性度的影响基本上是线性的,但检测电极的极板间隙对电容灵敏度和非线性度的影响是非线性的. 展开更多
关键词 微机械陀螺 三次非线性刚度 分式非线性静电力 周期响应 灵敏度分析 非线性度分析
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梳齿倾斜角对多自由度微陀螺动态性能的影响
5
作者 张昆鹏 郝淑英 +2 位作者 宋宇昊 张琪昌 冯晶晶 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2022年第5期221-227,共7页
为揭示由于刻蚀加工误差导致的梳齿倾斜角度对多自由度微陀螺动态性能的影响机理,以一类四自由度静电驱动微机械陀螺为研究对象,分析了线性及静电力非线性工况下梳齿倾斜角度对微陀螺动力学特性的影响。研究结果表明,微陀螺在线性系统... 为揭示由于刻蚀加工误差导致的梳齿倾斜角度对多自由度微陀螺动态性能的影响机理,以一类四自由度静电驱动微机械陀螺为研究对象,分析了线性及静电力非线性工况下梳齿倾斜角度对微陀螺动力学特性的影响。研究结果表明,微陀螺在线性系统内工作时,梳齿倾斜角会导致微陀螺系统出现共振频率偏移,并造成灵敏度大幅下降,但对带宽基本没有影响。当在静电力非线性系统内工作时,梳齿倾斜角对系统响应有刚度硬化作用,可在一定程度上抵消静电力非线性的影响;硬化作用先随梳齿倾斜角的增加而增加,到达峰值后随刻蚀误差的增加而减小,即存在最佳梳齿倾斜角度以抵消静电力非线性的影响。上述研究成果为控制或利用刻蚀误差的影响提供了理论依据。 展开更多
关键词 梳齿倾斜角 多自由度微陀螺 静电力非线性 灵敏度 动态性能
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Nonlinear static response of piezoelectric plates considering electro-mechanical coupling
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作者 B.Behjat M.R.Khoshravan 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2012年第5期1182-1188,共7页
Nonlinear static analysis of piezoelectric plates has been carried out using nonlinear finite element method considering electro-mechanical coupling,The geometrical nonlinearity has been taken into account and electri... Nonlinear static analysis of piezoelectric plates has been carried out using nonlinear finite element method considering electro-mechanical coupling,The geometrical nonlinearity has been taken into account and electric potential is assumed to be quadratic across the plate thickness,The governing equations are obtained using potential energy and Hamilton's principle that includes elastic and piezoelectric effects.The finite element model is derived based on constitutive equation of piezoelectric material accounting for coupling between elasticity and electric effect using higher order plate elements,Results are presented for piezoelectric plate under different mechanical boundary conditions,Numerical results for the plate are given in dimensionless graphical forms.Effects of boundary conditions on linear and nonlinear response of the plate are also studied.The numerical results obtained by the present model are in good agreement with the available solutions reported in the literature. 展开更多
关键词 piezoelectric plate nonlinear finite element method static analysis of plate geometrical nonlinearity
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Modeling and Analysis of Electrostatically Actuated MEMS under Combined Nonlinearities, Lorentz Force, and Mechanical Shock
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作者 Emran Khoshrouye Ghiasi 《Journal of Control Science and Engineering》 2016年第2期82-89,共8页
This paper shows an analysis ofMEM S (micro electro mechanical systems) due to Lorentz force and mechanical shock. The formulation is based on a modified couple stress theory, the von Karman geometric nonlinearity a... This paper shows an analysis ofMEM S (micro electro mechanical systems) due to Lorentz force and mechanical shock. The formulation is based on a modified couple stress theory, the von Karman geometric nonlinearity and Reynolds equation as well. The model contains a silicon microbeam, which is encircled by a stationary plate. The non-dimensional governing equations and associated boundary conditions are then solved iteratively through the Galerkin weighted method. The results show that pull-in voltage is dependent on the geometry nonlinearity. It is also demonstrated that by increasing voltage between the silicon microbeam and stationary plate, the pull-in instability happens. 展开更多
关键词 M EM S mechanical shock NONLINEARITY PULL-IN Galerkin weighted method dimensionless parameters.
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