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非镜面膜的椭偏研究
被引量:
4
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作者
张淑芝
王志刚
李淑英
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1992年第10期941-945,共5页
本文提出了SnO_2:F绒面膜的三层膜模型;从表示平面波传播性质的界面矩阵和膜层矩阵出发,导出了三层膜系统的散射矩阵和总反射系数,建立了反射式椭偏术的基本公式;利用反射式椭偏光谱法,测得SnO_2:F绒面膜的厚度和色散关系.
关键词
绒面
膜
椭偏光谱法
非镜面膜
原文传递
题名
非镜面膜的椭偏研究
被引量:
4
1
作者
张淑芝
王志刚
李淑英
机构
山东大学光学系
山东大学光电所
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1992年第10期941-945,共5页
文摘
本文提出了SnO_2:F绒面膜的三层膜模型;从表示平面波传播性质的界面矩阵和膜层矩阵出发,导出了三层膜系统的散射矩阵和总反射系数,建立了反射式椭偏术的基本公式;利用反射式椭偏光谱法,测得SnO_2:F绒面膜的厚度和色散关系.
关键词
绒面
膜
椭偏光谱法
非镜面膜
Keywords
SnO2:F film with chorionic surface, interface film, scattering matrix,spectroscopic ellipsometry.
分类号
O484.41 [理学—固体物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
非镜面膜的椭偏研究
张淑芝
王志刚
李淑英
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1992
4
原文传递
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