溅射气压对快速制备Y_2O_3种子层的影响研究

采用动式卷绕直流反应磁控溅射法,在双轴织构的Ni-5at%W基带上快速制备双面Y2O3种子层用于制备高质量YBa2Cu3O7-x(YBCO)涂层导体。研究了溅射气压对种子层织构和表面形貌的影响,以及不同溅射气压条件下种子层的两面一致性。优化工艺条件之后,制备出纯c轴取向的双面Y2O3种子层,其双面面外、面内半高宽分别为3.6°,3.4°和4.6°,4.3°,表面平整致密,平均晶粒尺寸约为40nm。