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非球面面型检测新原理研究
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作者 胡月 《科学技术创新》 2020年第26期181-182,共2页
深入比较了非球面光学元件与球面元件间的优缺点,讨论了非球面光学元件面型精度检测的重要性,调研了当前国内外非球面光学元件面型检测技术的相关方法,综述了当前非球面光学元件面型检测方法的实现的难易点及不足,最终提出非球面面型检... 深入比较了非球面光学元件与球面元件间的优缺点,讨论了非球面光学元件面型精度检测的重要性,调研了当前国内外非球面光学元件面型检测技术的相关方法,综述了当前非球面光学元件面型检测方法的实现的难易点及不足,最终提出非球面面型检测新方法,给出了检测新原理的具体实施方案。 展开更多
关键词 非球面 光学元件 面型精度检测 综述研究
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