步距规动态测量方法研究

步距规是一种典型的多量值面间距标准器,由于各工作面间相互阻隔,使步距规的校准具有一定难度。本文提出了一种新的测量方法,即应用光切显微镜的测量原理实现被测工作面的精确定位,给激光干涉比长仪提供了各个测量面的触发信号,从而实现了面间距的非接触动态连续测量。根据该方法研制了光学测头,并安装在激光干涉比长仪上进行了测量,分别对测头的定位精度､系统的测量重复性以及测量精度进行了实验,并给出了实验结果。目前,用此方法测量步距规的面间距,重复性可达16nm,测量不确定度优于U=0.1μm+1.5×10^(-6)L,k=2,其中L为被测步距规总长,μm。